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1. WO1996041384 - PIEZOELECTRIC BENDING TRANSDUCER

Note: Text based on automatic Optical Character Recognition processes. Please use the PDF version for legal matters

[ DE ]

Patentansprüche

1. Piezoelektrischer Biegewandler (2, 12, 14) mit einer
Piezokeramikschicht (6, 8), welche auf eine Trägerschicht (4, 16, 18) aufgebracht ist,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Material der Piezokeramikschicht (6, 8) und das Material der Trägerschicht (4, 16, 18) im wesentlichen identische
thermische Ausdehnungskoeffizienten haben.

2. Piezoelektrischer Biegewandler (2, 12, 14) nach Anspruch

1,
d a du r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das
Material der Piezokeramikschicht (6, 8) eine Blei-Zirkonat-Titanat-Keramik ist und das Material der Trägerschicht (4, 16, 18) einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von
2 x 10~6 K-1 bis 8 x 10~6 K"1, vorzugsweise von 3,5 K"1 bis 5,5 x 10"6 K"1, hat.

3. Piezoelektrischer Biegewandler (2) nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Material der Trägerschicht (4) Silizium ist.

4. Piezoelektrischer Biegewandler (12) nach Anspruch 1 oder 2,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Material der Trägerschicht (16) Glas ist.

5. Piezoelektrischer Biegewandler (14) nach Anspruch 1 oder 2,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Material der Trägerschicht (18) eine Oxidkeramik ist.

6. Piezoelektrischer Biegewandler (14) nach Anspruch 5, d a du r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß das Material der Trägerschicht (18) Zirkonoxid oder Aluminiumoxid ist.

7. Piezoelektrischer Biegewandler (2, 12, 14) nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
d a du r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die Trä-gerschicht (4, 16, 18) und/oder die der Trägerschicht (4, 16, 18) zugewandte Seite der Piezokeramikschicht (6, 8) eine MetallisierungsSchicht (10) aufweist.

8. Piezoelektrischer Biegewandler (4, 12, 14) nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß auf jeder Seite der Trägerschicht (4, 16, 18) eine entsprechende Piezokeramikschicht (6, 8) angeordnet ist.

9. Piezoelektrischer Biegewandler (4, 12, 14) nach Anspruch 8,
d a du r c h g e k e n n z e i c hn e t, daß eine Kontaktierung der Piezokeramikschichten (6, 8) miteinander mittels eines um einen Rand der Trägerschicht (4, 16, 18) oder durch eine Bohrung (20) in der Trägerschicht (4, 16, 18) gelegten Kontakts (10) vorgesehen ist.