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1. (WO1996009622) APPARATUS AND METHOD FOR SPUTTERING CARBON
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/009622    International Application No.:    PCT/US1995/012399
Publication Date: 28.03.1996 International Filing Date: 21.09.1995
Chapter 2 Demand Filed:    22.04.1996    
IPC:
C23C 14/06 (2006.01), G11B 5/84 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Applicants: SEAGATE TECHNOLOGY, INC. [US/US]; Building 15, 920 Disc Drive, Scotts Valley, CA 95066 (US)
Inventors: KIM, Taesun, E.; (US).
LEE, Hyung, J.; (US).
SHIH, Yao-Tzung, R.; (US).
BRUNO, John, C.; (US).
ZUBECK, Robert, B.; (US).
HOLLARS, Dennis, R.; (US)
Agent: HANKINS, John, A.; Lowe, Price, Leblanc & Becker, Suite 300, 99 Canal Center Plaza, Alexandria, VA 22314 (US)
Priority Data:
08/311,529 23.09.1994 US
Title (EN) APPARATUS AND METHOD FOR SPUTTERING CARBON
(FR) APPAREIL ET PROCEDE PERMETTANT DE METALLISER DU CARBONE SOUS VIDE
Abstract: front page image
(EN)A hydrogenated carbon film for magnetic thin film recording media is manufactured by alternating current magnetron sputtering in an atmosphere containing argon and a hydrocarbon gas. Targets mounted side-by-side cyclically sputter and discharge charge buildup according to an alternating current. Shielding between the targets directs electrons toward the anode at a given time.
(FR)On produit une couche de carbone hydrogénée destinée à des supports d'enregistrement magnétique à couche mince, par métallisation sous vide par magnétrons à courant alternatif dans une atmosphère contenant de l'argon et un gaz d'hydrocarbure. Des cibles montées côte à côte pulvérisent et déchargent de façon cyclique des accumulations de charges en fonction d'un courant alternatif. Un blindage séparant ces cibles oriente les électrons vers l'anode à un moment déterminé.
Designated States: CA, CN, JP, KR, MX, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)