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1. (WO1996007946) MICROSCOPIC ELECTROMAGNETIC RADIATION TRANSMITTER OR DETECTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/007946    International Application No.:    PCT/EP1995/003491
Publication Date: 14.03.1996 International Filing Date: 05.09.1995
IPC:
G01B 11/30 (2006.01), G01N 27/82 (2006.01), G01N 37/00 (2006.01), G01Q 60/56 (2010.01), G01R 29/08 (2006.01), G01R 29/10 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01)
Applicants: FISCHER, Ulrich [DE/DE]; (DE)
Inventors: FISCHER, Ulrich; (DE)
Agent: FRITZ, Herbert; Mühlenberg 74, D-59759 Arnsberg (DE)
Priority Data:
G 94 14 582.2 U 09.09.1994 DE
Title (DE) MIKROSKOPISCHER SENDER ODER DETEKTOR ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG
(EN) MICROSCOPIC ELECTROMAGNETIC RADIATION TRANSMITTER OR DETECTOR
(FR) EMETTEUR OU DETECTEUR MICROSCOPIQUE DE RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft einen mikroskopischen Sender oder Detektor elektromagnetischer Strahlung, eine sogenannte Nahfeldsonde (1), deren Körper die Form einer Polyederspitze hat und aus einem Material besteht, das wenigstens teilweise für elektromagnetische Strahlung im verwendeten Spektralbereich durchlässig ist, wobei die Polyederspitze durch eine gedachte Grundfläche begrenzt ist, über die hinaus der wesentliche Teil des Körpers zu einem nicht näher spezifizierten Gesamtkörper der Sonde fortgesetzt ist. Die Polyederspitze hat n Seitenflächen, wobei zwischen benachbarten Seitenflächen Kanten ausgebildet sind, die in eine scharfe Spitze (2) münden. Erfindungsgemäß sind mindestens zwei Seitenflächen des Körpers der Polyedersonde (1) mit dünnen, die elektromagnetische Strahlung im verwendeten Spektralbereich partiell absorbierenden, elektrisch leitenden Schichten beschichtet, die vorzugsweise aus Materialien, wie Aluminium, Gold oder Silber bestehen und eine Dicke von weniger als 0,2 $g(m)m aufweisen, wobei auch der vorderste Teil der Polyederspitze (2) mit dem verwendeten Material beschichtet ist. Dadurch wird eine effiziente Nahfeldsonde geschaffen mit einer vergleichsweise hohen Auflösung in der optischen Nahfeldrastermikroskopie, wobei auch die simultane Rastertunnelmikroskopie mit der selben Spitze möglich ist.
(EN)The present invention concerns a microscopic electromagnetic radiation transmitter or detector and a so-called near field probe (1) whose body takes the form of a polyhedron point and consists of a material which is at least partially permeable to electromagnetic radiation in the spectral region used. The polyhedron point is delimited by an imaginary base surface beyond which the substantial part of the body is continued to form a total probe body, which is not defined in greater detail. The polyhedron point has n side faces and edges leading to an acute point (2) are formed between adjacent side faces. According to the invention, at least two side faces of the body of the polyhedron probe (1) are coated with thin, electrically conductive layers which absorb some of the electromagnetic radiation in the spectral region used, preferably consist of materials such as aluminium, gold or silver and are less than 0.2 $g(m)m thick. The front part of the polyhedron point (2) is also coated with the material used, resulting in an efficient near field probe with comparatively high resolution in optical near field scanning microscopy, simultaneous scanning tunnel microscopy also being possible with the same point.
(FR)La présente invention concerne un émetteur ou détecteur microscopique de rayonnement électromagnétique, à savoir une 'sonde à champ proche' (1) dont le corps présente la forme d'une pointe polyèdre et est réalisé dans un matériau laissant passer au moins une partie du rayonnement électromagnétique dans la plage spectrale utilisée. La pointe polyèdre est délimitée par une surface de base imaginaire au-delà de laquelle la majeure partie du corps se prolonge par un corps global de la sonde non défini plus précisément. La pointe polyèdre présente n faces latérales. Des arêtes se prolongeant par une pointe aiguë (2) sont formées entre des faces latérales adjacentes. Au moins deux faces latérales du corps de la sonde polyèdre (1) sont revêtues de minces couches électroconductrices qui absorbent une partie du rayonnement électromagnétique dans la plage spectrale utilisée. Ces couches sont constituées de préférence de matériaux tels que l'aluminium, l'or ou l'argent et présentent une épaisseur inférieure à 0,2 $g(m)m. La partie antérieure de la pointe polyèdre (2) est également recouverte du matériau utilisé, ce qui permet d'obtenir une sonde à champ proche présentant une résolution relativement élevée pour la microscopie optique à balayage de champ proche, la microscopie à effet tunnel étant également possible avec la même pointe.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)