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1. (WO1996007868) PROCESS FOR SCANNING A SAMPLE SURFACE, IN PARTICULAR BY MEANS OF SCANNING FORCE MICROSCOPES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/007868    International Application No.:    PCT/DE1995/001191
Publication Date: 14.03.1996 International Filing Date: 05.09.1995
Chapter 2 Demand Filed:    02.04.1996    
IPC:
G02B 21/00 (2006.01)
Applicants: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Johnen-Strasse, D-52425 Jülich (DE) (For All Designated States Except US).
HÜRTTLEN, Werner [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HÜRTTLEN, Werner; (DE)
Common
Representative:
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH; Rechts- und Patentabteilung, D-52425 Jülich (DE)
Priority Data:
P 44 32 304.2 10.09.1994 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUM SCANNEN EINER PROBENOBERFLÄCHE, INSBESONDERE MIT RASTERSONDENMIKROSKOPEN
(EN) PROCESS FOR SCANNING A SAMPLE SURFACE, IN PARTICULAR BY MEANS OF SCANNING FORCE MICROSCOPES
(FR) PROCEDE DE BALAYAGE DE LA SURFACE D'ECHANTILLONS, NOTAMMENT AU MOYEN DE MICROSCOPES A FORCES ATOMIQUES
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Scannen einer Probenoberfläche, insbesondere mittels einer Rastersonde eines Rastersondenmikroskops, bei dem sich Rasternadel und Probe relativ zu einander bewegen. Die Rasternadel wird in einem vorgegebenen Raster über die zu scannende Probenoberfläche geführt. Erfindungsgemäß werden kurvenförmig verlaufende Bewegungen anstelle der bekannten Bewegungsumkehr durchgeführt. Dies hat zur Folge, daß Beschleunigungseffekte und damit Meßstörungen vermindert werden. Je größer der Kurvenradius gewählt wird, desto stärker werden Meßstörungen herabgesetzt. Der Kurvendurchmesser beträgt daher vorteilhaft ein mehrfaches des Abstandes zweier benachbarter Rasterpunkte.
(EN)A process is disclosed for scanning a sample surface, in particular by means of the scanning probe of a scanning force microscope, in which the scanning point and the sample are moved with respect to each other. The scanning point is guided in a predetermined pattern over the surface of the sample to be scanned. According to the invention, the scanning point moves in curves instead of reversing its direction of movement as in known processes. Consequently, acceleration effects and thus measurement disturbances are reduced. The greater the radius of the curves, the less are the measurement disturbances. The curve diameter is advantageously a multiple of the distance between two adjacent points of the scanning pattern.
(FR)Selon un procédé de balayage de la surface d'un échantillon, notamment au moyen de la sonde de balayage d'un microscope à forces atomiques, la pointe de balayage et l'échantillon se déplacent l'un par rapport à l'autre. La pointe de balayage est guidée selon une trame prédéterminée sur la surface à balayer de l'échantillon. Selon l'invention, la sonde effectue des mouvements courbes au lieu des renversements de direction connus, ce qui réduit les effets d'accélération, donc les perturbations de la mesure. Plus le rayon des courbes décrites est grand, plus les perturbations de la mesure sont réduites. Le diamètre des courbes décrites est donc avantageusement un multiple de l'écartement entre deux points adjacents de la trame de balayage.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)