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1. (WO1996006203) ELECTROCHROMIC MATERIALS AND DEVICES, AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/006203    International Application No.:    PCT/US1995/010597
Publication Date: 29.02.1996 International Filing Date: 17.08.1995
Chapter 2 Demand Filed:    11.01.1996    
IPC:
C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), G02F 1/15 (2006.01)
Applicants: OPTICAL COATING LABORATORY, INC. [US/US]; 2789 Northpoint Parkway, Santa Rosa, CA 95407-7397 (US)
Inventors: O'BRIEN, Nada, A.; (US).
MATHEW, John, G., H.; (US).
HICHWA, Bryant, P.; (US).
ALLEN, Thomas, H.; (US)
Agent: SEELEY, David, O.; Workman, Nydegger & Seeley, 1000 Eagle Gate Tower, 60 East South Temple, Salt Lake City, UT 84111 (US)
Priority Data:
293,129 19.08.1994 US
Title (EN) ELECTROCHROMIC MATERIALS AND DEVICES, AND METHOD
(FR) SUBSTANCES ET DISPOSITIFS ELECTROCHROMIQUES, ET PROCEDES CORRESPONDANTS
Abstract: front page image
(EN)A process for manufacturing electrochromic layers/devices at high rates and low deposition temperatures is described. The method utilizes the magnetron enhanced sputtering technique in which a substrate (36) is rotated past sputter cathodes (38, 40, 42, 44, 46) and past a reactive ion source (48) in order to deposit a layered electrochromic device. The process uses high system pressure and large reaction gas flow rates, but relatively low reactive gas partial pressures at the sputter cathodes (38, 40, 42, 44, 46) to reproducibly form electrochromic materials and devices which exhibit excellent optical and physical properties.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication à cadence élevée de couches ou de dispositifs électrochromiques à basses températures de formation de dépôt. Le procédé utilise une technique de pulvérisation cathodique à accélération par magnétron. Selon cette technique, un substrat (36) et mis en rotation devant des cathodes de pulvérisation (38, 40, 42, 44, 46) et devant une source à ions réactifs (48) permettant de former par dépôt un dispositif électrochromique. Pour former par reproduction des substances et dispositifs électrochromiques dotés d'excellentes propriétés optiques et physiques, le procédé nécessite une pression système élevée et des débit importants de gaz de réaction, pour des pressions partielles relativement faibles du gaz de réaction au niveau des cathodes de pulvérisation (38, 40, 42, 44, 46).
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)