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1. (WO1996004101) METHOD OF PLANARIZING POLYCRYSTALLINE DIAMONDS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/004101    International Application No.:    PCT/US1995/005711
Publication Date: 15.02.1996 International Filing Date: 05.05.1995
Chapter 2 Demand Filed:    28.02.1996    
IPC:
B24B 37/04 (2012.01), H01L 21/3105 (2006.01)
Applicants: THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ARKANSAS [US/US]; 1123 South University, Little Rock, AR 72204 (US)
Inventors: MALSHE, Ajay, P.; (US).
BROWN, William, D.; (US).
NASEEM, Hameed, A.; (US).
SCHAPER, Leonard, W.; (US)
Agent: GILBRETH, J., M., (Mark); Gilbreth & Adler, P.C., 5313 Pine Street, Bellaire, TX 77401 (US)
Priority Data:
08/282,796 29.07.1994 US
Title (EN) METHOD OF PLANARIZING POLYCRYSTALLINE DIAMONDS
(FR) PROCEDE DE DRESSAGE DE DIAMANTS POLYCRISTALLINS
Abstract: front page image
(EN)Disclosed is a method of planarizing a diamond film which generally includes orifices in the surface. The method includes first polishing the diamond film (STEP I) surface to reduce the surface roughness. Next, a filler material is applied (STEP III) to the surface of the film to fill the orifices in the film. Finally, the film is polished (STEP IV) to remove excess filler material and expose the diamond film surface. Also disclosed are planarized diamond film substrates having a polished surface of both diamond and filler material and a variation in thickness of less than 8 percent.
(FR)Procédé de dressage d'un film diamanté présentant d'une manière générale des orifices à sa surface. Le procédé consiste d'abord à polir la surface du film diamanté (étape I) pour en réduire la rugosité. Ensuite, une matière de remplissage est appliquée sur la surface du film (étape III) pour combler les orifices. Enfin, le film est poli (étape IV) de manière à enlever l'excédent de matière de remplissage et dégager la surface du film diamanté. L'invention porte également sur des substrats de films diamantés dressés offrant une surface polie réalisée à la fois en diamants et en matière de remplissage, présentant une fluctuation d'épaisseur de moins de 8 %.
Designated States: AM, AT, AU, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, HU, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LK, LR, LT, LU, LV, MD, MG, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, TJ, TM, TT, UA, UG, UZ, VN.
African Regional Intellectual Property Organization (KE, MW, SD, SZ, UG)
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)