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1. (WO1996003629) PROTECTIVE DIAPHRAGM FOR A SILICON PRESSURE SENSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/003629    International Application No.:    PCT/DE1995/000907
Publication Date: 08.02.1996 International Filing Date: 11.07.1995
Chapter 2 Demand Filed:    02.01.1996    
IPC:
G01L 9/00 (2006.01)
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, D-80333 München (DE) (For All Designated States Except US).
BAUER, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FRIMBERGER, Manfred [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PFAU, Lorenz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
DIRMEYER, Josef [DE/DE]; (DE) (For US Only).
EHRLER, Günter [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BAUER, Peter; (DE).
FRIMBERGER, Manfred; (DE).
PFAU, Lorenz; (DE).
DIRMEYER, Josef; (DE).
EHRLER, Günter; (DE)
Priority Data:
P 44 25 921.2 21.07.1994 DE
Title (DE) SCHUTZMEMBRAN FÜR EINEN SILIZIUMDRUCKSENSOR
(EN) PROTECTIVE DIAPHRAGM FOR A SILICON PRESSURE SENSOR
(FR) MEMBRANE PROTECTRICE POUR DETECTEUR DE PRESSION AU SILICIUM
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Schutzmembrane für Siliziumdrucksensoren, mit der der Siliziumchip und seine elektrischen Anschlußstrukturen gegen schädliche Umwelteinflüsse abgeschirmt werden können, wobei die Membran in ihrem äußeren Umfang eine Sicke aufweist, mit der Temperatur- und Druckspannungen ausgeglichen werden können und mit der die Trägheit der Membran beeinflußbar ist.
(EN)The invention relates to a protective diaphragm for silicon pressure sensors to protect the silicon chip and its electrical connections against damaging environmental influences. The diaphragm has a bead on its outer periphery by means of which temperature and pressure stresses can be balanced and the inertia of the diaphragm can be influenced.
(FR)L'invention concerne une membrane protectrice pour détecteurs de pression au silicium, qui permet de mettre la micropastille de silicium et ses structures électriques de raccordement à l'abri des influences néfastes de l'environnement. La membrane comporte dans sa périphérie extérieure, un bourrelet qui permet de compenser les contraintes thermiques et les contraintes de compression et d'influer sur la force d'inertie de la membrane.
Designated States: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)