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1. (WO1996003615) FILM THICKNESS MAPPING USING INTERFEROMETRIC SPECTRAL IMAGING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/003615    International Application No.:    PCT/US1995/008708
Publication Date: 08.02.1996 International Filing Date: 12.07.1995
Chapter 2 Demand Filed:    23.02.1996    
IPC:
G01B 11/06 (2006.01), G01J 3/26 (2006.01), G01J 3/28 (2006.01)
Applicants: C.I. SYSTEMS (ISRAEL) LTD. [IL/IL]; P.O. Box 147, 10551 Migdal Ha Emek (IL) (For All Designated States Except US).
CABIB, Dario [IL/IL]; (IL) (For US Only).
BUCKWALD, Robert, A. [US/IL]; (IL) (For US Only).
ADEL, Michael, E. [IL/IL]; (IL) (For US Only)
Inventors: CABIB, Dario; (IL).
BUCKWALD, Robert, A.; (IL).
ADEL, Michael, E.; (IL)
Agent: FRIEDMAN, Mark, M.; c/o Robert Sheinbein, 2940 Birchtree Lane, Silver Spring, MD 20906 (US)
Priority Data:
110466 26.07.1994 IL
Title (EN) FILM THICKNESS MAPPING USING INTERFEROMETRIC SPECTRAL IMAGING
(FR) CARTOGRAPHIE D'EPAISSEUR DE COUCHE MINCE PAR IMAGERIE SPECTRALE INTERFEROMETRIQUE
Abstract: front page image
(EN)A method of determining the thickness map of a film (14) overlying a substrate (14). This method includes illuminating (10) the film simultaneously from different angles and analyzing spectral intensity of the radiation reflected by each point on the film (14). The analysis is effected by collecting reflected radiation from the film (14), passing the radiation through an interferometer (16) which outputs modulated radiation corresponding to a predetermined set of linear combinations of the spectral intensity of the radiation emitted from each pixel, simultaneously and separately scanning optical path differences generated in the interferometer (16) for each pixel, focusing the radiation outputted from the interferometer (16) on a detector array, and processing the output of the detector array to determine the spectral intensity of each pixel thereof to obtain a spectral intensity distribution. Finally, the method includes further processing the spectral intensity distribution to determine the spatial distribution of the thickness of the film (16).
(FR)Un procédé, qui permet de déterminer la cartométrie d'épaisseur d'une couche mince (14) surmontant un substrat (14) consiste à éclairer (10) cette couche mince simultanément sous des angles différents et à analyser l'intensité spectrale du rayonnement réfléchi par chaque point de cette couche mince (14). L'analyse s'effectue par réception du rayonnement réfléchi par la couche mince (14), passage de ce rayonnement par un interféromètre (16) qui donne en sortie un rayonnement modulé correspondant à un ensemble déterminé de combinaisons linéaires propres à l'intensité spectrale du rayonnement émis par chaque pixel, balayage simultané et séparé sur les différences de trajets optiques engendrées dans cet interféromètre (16) pour chaque pixel, focalisation du rayonnement provenant de l'interféromètre (16) sur un réseau de détecteurs, et traitement du signal de sortie de ce réseau de détecteurs pour déterminer l'intensité spectrale de chacun de ses pixels et obtenir ainsi une répartition d'intensité spectrale. Enfin, ce procédé consiste à traiter cette répartition d'intensité spectrale pour déterminer la répartition spatiale de l'épaisseur de la couche mince (16).
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)