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1. (WO1996002934) METHOD OF AND APPARATUS FOR MICROWAVE-PLASMA PRODUCTION
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/002934    International Application No.:    PCT/GB1995/001628
Publication Date: 01.02.1996 International Filing Date: 11.07.1995
Chapter 2 Demand Filed:    16.02.1996    
IPC:
H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: EA TECHNOLOGY LIMITED [GB/GB]; Capenhurst, Chester CH1 6ES (GB) (For All Designated States Except US).
DUAN, Xiaoming [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: DUAN, Xiaoming; (GB)
Agent: BOULT WADE TENNANT; 27 Furnival Street, London EC4A 1PQ (GB)
Priority Data:
9414561.2 19.07.1994 GB
Title (EN) METHOD OF AND APPARATUS FOR MICROWAVE-PLASMA PRODUCTION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION DE PLASMA HYPERFREQUENCE
Abstract: front page image
(EN)A microwave-plasma apparatus for producing a plasma substantially at or above atmospheric pressure comprises a vessel (4) for containing gas substantially at or above atmospheric pressure and a plasma (6) once initiated. Microwave radiation is radiated into the vessel for the initiation and sustaining of a plasma. The vessel (4) is shaped to confine the plasma (6) in a volume to prevent dissipation of the plasma (6) once initiated. The power level of the microwave energy is controlled to sustain the plasma once initiated.
(FR)Dispositif destiné à produire un plasma hyperfréquence sensiblement à la pression atmosphérique ou au-dessus de celle-ci, comprenant une cuve (4) servant à contenir du gaz sensiblement à la pression atmosphérique ou au-dessus de celle-ci, ainsi qu'un plasma (6) une fois celui-ci amorcé. Le rayonnement hyperfréquence est dirigé dans la cuve aux fins d'amorcer et de maintenir un plasma. La cuve (4) est conçue de manière à confiner le plasma (6) dans un certain volume afin d'empêcher la dissipation de celui-ci (6) une fois amorcé. On régule le niveau d'énergie de la puissance hyperfréquence afin de maintenir le plasma une fois celui-ci amorcé.
Designated States: GB, JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)