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1. (WO1996002319) CHEMICAL SLURRY MIXING APPARATUS AND METHOD
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1996/002319    International Application No.:    PCT/US1995/008769
Publication Date: 01.02.1996 International Filing Date: 13.07.1995
Chapter 2 Demand Filed:    16.02.1996    
IPC:
B24B 57/00 (2006.01), B01J 4/00 (2006.01), B01J 4/02 (2006.01), B24B 37/04 (2012.01), B24B 57/02 (2006.01), C09K 3/14 (2006.01), G01F 11/28 (2006.01)
Applicants: APPLIED CHEMICAL SOLUTIONS, INC. [US/US]; 2320 Technology Parkway, Hollister, CA 95023-0057 (US)
Inventors: FERRI, Edward, T., Jr.; (US).
GEATZ, J., Tobin; (US).
CORLETT, Gary, L.; (US)
Agent: LINDER, Walter, C.; Faegre & Benson, 2200 Norwest Center, 90 South Seventh Street, Minneapolis, MN 55402-3901 (US)
Priority Data:
08/277,229 19.07.1994 US
Title (EN) CHEMICAL SLURRY MIXING APPARATUS AND METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCEDE DE MELANGE DE PRODUITS CHIMIQUES EN SUSPENSION
Abstract: front page image
(EN)The present invention is an improved apparatus and method for mixing, storing, and delivering slurry chemicals (12, 14, 16) for use in manufacturing operations (18a, 18b, 18c). The present invention is particularly directed to the effective production and handling of slurry chemicals for use in chemical-mechanical polishing (CMP) processes, where process chemicals tend to be highly abrasive and often difficult to produce and handle. The apparatus (10) of the present invention provides a wide variety of mixing and handling options that have previously been unavailable.
(FR)La présente invention concerne un appareil et un procédé perfectionnés pour mélanger, accumuler, et distribuer des produits chimiques en suspension (12, 14, 16) s'utilisant dans des opérations de fabrication (18a, 18b, 18c). La présente invention concerne notamment la production et la manipulation efficaces de produits chimiques en suspension s'utilisant dans des processus de polissage mécano-chimique où les produits chimiques industriels ont tendance à être extrêmement abrasifs et souvent difficiles à produire et à manipuler. L'appareil (10) décrit offre une grande variété d'options de mélange et de manipulation auparavant inexistantes.
Designated States: CA, CN, JP, KR, SG.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)