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1. (WO1994029757) OPTICAL COMPONENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1994/029757    International Application No.:    PCT/DE1994/000635
Publication Date: 22.12.1994 International Filing Date: 08.06.1994
Chapter 2 Demand Filed:    07.01.1995    
IPC:
G02B 5/08 (2006.01), G02B 1/11 (2006.01), G02B 5/28 (2006.01), G02B 6/122 (2006.01), H01L 31/0216 (2006.01), H01L 31/103 (2006.01), H01L 33/34 (2010.01), H01L 33/44 (2010.01), H01S 5/183 (2006.01), H01S 5/32 (2006.01)
Applicants: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Johnen-Strasse, D-52425 Jülich (DE) (For All Designated States Except US).
BERGER, Michael, Götz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MÜNDER, Herbert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FROHNHOFF, Stephan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
THÖNISSEN, Markus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LÜTH, Hans [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BERGER, Michael, Götz; (DE).
MÜNDER, Herbert; (DE).
FROHNHOFF, Stephan; (DE).
THÖNISSEN, Markus; (DE).
LÜTH, Hans; (DE).
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH; (DE)
Common
Representative:
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH; Rechts- und Patentabteilung, D-52425 Jülich (DE)
Priority Data:
P 43 19 413.3 14.06.1993 DE
Title (DE) OPTISCHES BAUELEMENT
(EN) OPTICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT OPTIQUE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches Bauelement, bestehend aus transparenten, dünnen Schichten unterschiedlicher Dicke und unterschiedlicher Brechungsindizes. Derartige optische Bauelemente werden beispielsweise als Interferenzfilter und Spiegel eingesetzt. Auch sind optische Bauelemente aus Schichten mit graduell verändertem Brechungsindex als Wellenleiter oder als Antireflexbeschichtungen bekannt. Die Erfindung löst die Aufgabe, anstelle der Schichten aus üblichen Materialien ein anderes Material einzusetzen, durch ein Bauelement, bei dem die Schichten aus porösem Silicium bestehen. Die besonderen Vorteile des porösen Siliciums als Schichtmaterial liegen dabei nicht nur in der leichten und billigen Herstellbarkeit von beliebig komplexen Schichtsystemen, sondern auch in der Möglichkeit, graduelle Übergänge im Brechungsindex zu erreichen. Daher sind auch Wellenleiter auf einem Siliciumchip in sehr einfacher Weise herstellbar.
(EN)The invention relates to an optical component consisting of transparent thin layers of differing thickness and refractive indices. Such optical components are used, for example, as interference filters and mirrors. Optical components made of layers with gradually changing refractive indices are also known as waveguides or anti-reflective coatings. The invention achieves the aim of using, instead of layers of ordinary materials, another material by means of a component in which the layers consist of porous silicon. The special advantages of porous silicon as a coating material arise not only from the ease and economy of manufacture but also inthe facility for obtaining gradual refractive index transitions. It is therefore very easily possible to make waveguides on a silicon chip.
(FR)L'invention se rapporte à un composant optique constitué de couches minces transparentes d'épaisseurs différentes et d'indices de réfraction différents. Ce type de composant optique est utilisé par exemple comme filtre d'interférence et comme miroir. On connait également des composants optiques constitués de couches avec des indices de réflection variant progressivement, qui font office de guides d'ondes ou de révêtement antireflets. L'invention répond à l'objectif de remplacer les couches en matériaux habituels par un autre matériau en proposant un composant dont les couches sont constituées de silicium poreux. Les avantages particuliers du silicium poreux comme matériau de couche résultent non seulement dans la possibilité de réaliser facilement et à faible prix des ensembles de couches d'une complexité quelconque, mais aussi dans la possibilité d'obtenir des transistions progressives de l'indice de réfraction. De ce fait, il est également très facile de réaliser des guides d'ondes sur une pastille de silicium.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)