WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO1994028426) PROCESS FOR PRODUCING SURFACE MICROMECHANICAL STRUCTURES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1994/028426    International Application No.:    PCT/DE1994/000538
Publication Date: 08.12.1994 International Filing Date: 11.05.1994
Chapter 2 Demand Filed:    17.10.1994    
IPC:
B81B 3/00 (2006.01), G01P 15/08 (2006.01)
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, D-70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
OFFENBERG, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: OFFENBERG, Michael; (DE)
Priority Data:
P 43 17 274.1 25.05.1993 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG OBERFLÄCHEN-MIKROMECHANISCHER STRUKTUREN
(EN) PROCESS FOR PRODUCING SURFACE MICROMECHANICAL STRUCTURES
(FR) PROCEDE PERMETTANT DE REALISER DES STRUCTURES A SURFACE MICROMECANIQUE
Abstract: front page image
(DE)In einem Verfahren zur Herstellung oberflächen-mikromeschanischer Strukturen wird auf ein Siliziumsubstrat als Siliziumwafer eine Opferschicht, insbesondere aus Siliziumoxid, deponiert und strukturiert. Auf der Opferschicht wird eine zweite Schicht, insbesondere aus Polysilizium, abgeschieden und ebenfalls strukturiert. Die Opferschicht wird in einem Ätzvorgang entfernt, mit einem Ätzmedium, das die Opferschicht, jedoch nicht die zweite Schicht, angreift, wodurch Strukturen entstehen, die im Abstand der Dicke der entfernten Opferschicht frei über dem Siliziumsubstrat stehen und an gewissen Stellen auf dem Siliziumsubstrat verankert sind. Erfindungsgemäß werden zum Ätzen und zur Freilegung die mikromechanischen Strukturen der Dampfphase eines Gemisches aus anhydrider Flußsäure und Wasser in einer Dampfphasenätzung ausgesetzt. Dadurch können aufwendige Spülvorgänge und Sublimationen entfallen.
(EN)In a process for producing surface micromechanical structures, a sacrificial layer, especially of silicon oxide, is deposited and structured on a silicon substrate as a silicon wafer. A second layer, especially of polysilicon, is separated and likewise structured on the sacrificial layer. The sacrificial layer is removed by an etching process using an etching agent wich attacks the sacrificial layer but not the second layer, providing structures which project freely above the thickness of the removed sacrificial layer and are anchored to the silicon substrate at certain points. According to the invention, the micromechanical structures are exposed to the vapour phase of a mixture of anhydrous hydrofluoric acid and water in a vapour phase etching process for etching and revelation. It is thus possible to do away with cumbersome rinsing and sublimation processes.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de réaliser des structures à surface micromécanique, selon lequel une couche sacrificielle, notamment en oxyde de silicium, est déposée et structurée sur un substrat en silicium se présentant sous forme de tranche de silicium. Une seconde couche, notamment en polysilicium, est déposée chimiquement et est également structurée sur la couche sacrificielle. Cette dernière est enlevée par attaque chimique à l'aide d'un réactif d'attaque qui attaque la couche sacrificielle, mais laisse la seconde couche intacte. Il en résulte des structures qui débordent de l'épaisseur de la couche sacrificielle enlevée, au-dessus du substrat en silicium et qui sont ancrées en certains points dudit substrat en silicium. Selon l'invention, les structures micromécaniques sont exposées à la phase vapeur d'un mélange d'acide fluorhydrique anhydre et d'eau dans une opération d'attaque chimique en phase vapeur, afin d'enlever la couche sacrificielle par attaque chimique. Ce procédé permet d'éviter d'avoir recours à des opérations de rinçage et à des sublimations complexes.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)