WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO1994028373) METHOD OF MEASURING MICRO-OBJECTS AND DEVICE THEREFOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1994/028373    International Application No.:    PCT/RU1994/000113
Publication Date: 08.12.1994 International Filing Date: 27.05.1994
Chapter 2 Demand Filed:    28.11.1994    
IPC:
G01B 11/02 (2006.01)
Applicants: TYCHINSKY, Vladimir Pavlovich [RU/RU]; (RU).
MASALOV, Igor Nikolaevich [RU/RU]; (RU) (For US Only)
Inventors: TYCHINSKY, Vladimir Pavlovich; (RU).
MASALOV, Igor Nikolaevich; (RU)
Common
Representative:
TYCHINSKY, Vladimir Pavlovich; ul. Generala Antonova, 4-2-163, Moscow, 117279 (RU)
Priority Data:
93030337 28.05.1993 RU
94013184 13.04.1994 RU
Title (EN) METHOD OF MEASURING MICRO-OBJECTS AND DEVICE THEREFOR
(FR) METHODE DE MESURE D'OBJETS MICROSCOPIQUES ET APPAREIL METTANT EN ×UVRE CETTE METHODE
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to measurement techniques and in particular to optical methods for contactless measurement, and may be used in optics, solid body physics, microelectronics, biology and medicine. It provides increased spatial resolution compared with conventional limits, increased precision of measurement in a phase microscope containing a coherent illumination source, double beam interferometer and coordinate-sensitive non-integrating photoreceiver, and scanning, phase measuring and indicating units. According to the method, on modulation of the carrier wave phase, its rate of change with time d$g(f)/dt on a linear portion and the period T of the modulation function satisfy the relation T/$g(p).d$g(f)/dt = n, where n = 1, 2, 3, .... By synchronous interruption of the working signal, filtering it at frequency F = 1/2$g(p).d$g(f)/dt it is transformed into a quasi-harmonic while preserving phase information on the wave dissipated by the object, and the phase value at each point of the image is measured according to the temporal position of the zero value of the transformed signal. The device includes a filter tuned to a frequency related to the rate of change of the carrier wave phase, a unit interrupting the basic signal, means for controlling filter bandwidth and amplifying the working signal, and a control signal circuit for compensating external acoustic effects.
(FR)La présente invention se rapporte à la technique des mesures, en particulier aux méthodes optiques de mesure sans contact, et peut trouver une application dans les domaines de l'optique, de la physique des corps solides, de la micro-électronique, de la biologie et de la médecine. Le résultat technique obtenu grâce à la présente invention consiste en un accroîssement de la résolution spaciale par rapport à la limite classique, en une amélioration de la précision de la mesure dans un microscope à phases comportant une source de rayonnement cohérent, un interféromètre à double faisceau et un photorécepteur localisateur non intégrateur, des organes de balayage, de mesure de phase et d'indication. Le procédé se caractérise par le fait que, avec la modulation en phase de l'onde porteuse, la variation de sa vitesse d$g(f)/dt sur un segment linéaire en fonction du temps et la période T de la fonction de modulation s'expriment de la manière suivante: T/$g(p). d$g(f)/dt = n, n étant égal à 1, 2, 3, .... Ainsi, par interruption synchrone du signal, sa filtration sur la fréquence F = 1/2$g(p). d$g(f)/dt le transforme en quasi harmonique tout en gardant l'information concernant la phase de l'onde dissipée par l'objet et la valeeur de phase dans chaque point de l'image est mesurée par rapport à la position temporelle de la valeur 0 du signal transformé. L'appareil comprend un filtre réglé sur la fréquence liée à la vitesse de la variation de phase de l'onde porteuse, un bloc d'interruption du signal de base, un moyen de réglage de bande passante et d'amplification du signal de travail, ainsi qu'un circuit de signal de contrôle permettant de compenser les interférences acoustiques externes.
Designated States: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: Russian (RU)
Filing Language: Russian (RU)