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1. (WO1994026640) WAFER TRANSPORT DEVICE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1994/026640    International Application No.:    PCT/US1994/005073
Publication Date: 24.11.1994 International Filing Date: 06.05.1994
Chapter 2 Demand Filed:    06.12.1994    
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: MILLER, Kenneth, C. [US/US]; (US)
Inventors: MILLER, Kenneth, C.; (US)
Agent: EVERETT, Stephen, M.; Limbach & Limbach, 2001 Ferry Building, San Francisco, CA 94111-4262 (US)
Priority Data:
08/058,942 07.05.1993 US
Title (EN) WAFER TRANSPORT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE TRANCHES
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for transporting material, such as semiconductor wafers, between process modules (40, 44, 46) coupled to a chamber. The transport apparatus (10) includes a chamber (22), guide rails (24) affixed to an outer surface of the chamber; one or more material transporters (26) each including a motorized vehicle (80) positioned outside the chamber and movable along the guide rails, a material carrier (82) positioned inside the chamber, and magnetic levitation means (88, 90) for magnetically coupling the material carrier to the motorized vehicle through a nonmagnetic wall (66) of the chamber; and a controller (120) that controls the position of the motorized vehicle along the guide means to move the material carrier to desired positions within the chamber.
(FR)Appareil de transport de matériaux, tels que des tranches de semi-conducteurs, entre des modules de traitement (40, 44, 46) couplés à une chambre. L'appareil de transport (10) comprend une chambre (22), des rails de guidage (24) fixés à une surface externe de la chambre; un ou plusieurs transporteurs (26) de matériaux, dont chacun comprend un véhicule (80) à moteur placé à l'extérieur de la chambre et pouvant se déplacer le long des rails, un dispositif de support (82) de matériau placé à l'intérieur de la chambre, ainsi que des moyens de lévitation magnétiques (88, 90) permettant de coupler magnétiquement le dispositif de support de matériau et le véhicule à moteur à travers la paroi non magnétique (66) de la chambre; et un contrôleur (120) qui règle la position du véhicule le long des moyens de guidage afin de déplacer le dispositif de support vers des positions requises dans la chambre.
Designated States: AU, CA, JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)