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1. (WO1994025888) OPTICALLY GUIDED MACROSCOPIC-SCAN-RANGE/NANOMETER RESOLUTION PROBING SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1994/025888    International Application No.:    PCT/US1994/004624
Publication Date: 10.11.1994 International Filing Date: 26.04.1994
IPC:
G01Q 20/02 (2010.01), G01Q 60/10 (2010.01)
Applicants: BOARD OF REGENTS, THE UNIVERSITY OF TEXAS SYSTEM [US/US]; 201 West 7th Street, Austin, TX 78701 (US)
Inventors: MARCHMAN, Herschel; (US).
WETSEL, Grover, C.; (US)
Agent: HATFIELD, Amber, L.; Arnold, White & Durkee, P.O. Box 4433, Houston, TX 77210 (US)
Priority Data:
08/054,457 28.04.1993 US
Title (EN) OPTICALLY GUIDED MACROSCOPIC-SCAN-RANGE/NANOMETER RESOLUTION PROBING SYSTEM
(FR) SYSTEME DE SONDAGE A BALAYAGE MACROSCOPIQUE GUIDE OPTIQUEMENT ET DEFINITION DE L'ORDRE DU NANOMETRE
Abstract: front page image
(EN)A large-nanostructure probe with optically guided macroscopic scanning is disclosed for high-resolution imaging and characterization of nanostructures. The invention contemplates the use of a coarse positioning system, which comprises one or more quadratic index fiber optic lenses (11) in conjunction with an optical microscope (12). A magnifying probe (37) is placed in close proximity to a sample under inspection. The fiber optic lenses (11) of the coarse positoning system are used to noninvasively carry the image of a sample-to-probe junction to the optical microscope (12). The optical microscope further magnifies the image, allowing for precise positioning of the probe tip to within 1 $g(m)m of a desired feature on the sample surface. For ease to viewing, the magnified image from the microscope may be displayed on a monitor using a charge coupled device ('CCD') camera (13), if so desired. Also disclosed is a long-range probing system wherein the probe tip may be one of a variety of measurement or probing apparatus. For example, a particularly effective configuration of the long-range probing system is one in which the optical viewing system of the present invention serves as part of a coarse approach system for a scanning tunneling microscope probe.
(FR)L'invention concerne une sonde pour grandes nanostructures, à balayage macroscopique guidé optiquement, pour la visualisation de haute définition et la caractérisation de nanostructures. Selon l'invention, on utilise un système de positionnement grossier comprenant une ou plusieurs fibres optiques-lentilles (11) à indice quadratique concurremment avec un microscope optique (12). Une sonde grossissante (37) est placée très près d'un échantillon à contrôler. Les fibres optiques-lentilles (11) du système de conditionnement grossier sont utilisées pour transporter, de façon non invasive, l'image d'une jonction échantillon-sonde au microscope optique (12). Le microscope optique agrandit davantage l'image, ce qui permet le positionnement précis de la pointe de la sonde à un micron près par rapport à un détail désiré, sur la surface de l'échantillon. Pour faciliter l'observation, l'image agrandie provenant du microscope peut être affichée sur un moniteur au moyen d'une caméra à dispositif à couplage de charge (13), si désiré. L'invention concerne également un système de sondage à longue distance dans lequel la pointe de la sonde peut être l'un de toute une variété d'appareils de mesure ou de sondage. Par exemple, une configuration particulièrement efficace du système de sondage à longue distance est une configuration dans laquelle le système d'observation optique selon la présente invention constitue une partie du système d'approche grossière pour une sonde de microscope à balayage à effet tunnel.
Designated States: AT, AU, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CZ, DE, DK, ES, FI, GB, GE, HU, JP, KG, KP, KR, KZ, LK, LU, LV, MD, MG, MN, MW, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SK, TJ, TT, UA, UZ, VN.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)