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1. (WO1994025881) LITHOGRAPHICALLY PRODUCED STEPPED LENS WITH A FRESNEL SURFACE STRUCTURE AND PROCESS FOR PRODUCING IT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1994/025881    International Application No.:    PCT/EP1994/001307
Publication Date: 10.11.1994 International Filing Date: 26.04.1994
IPC:
G02B 3/08 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH [DE/DE]; Prüssingstrasse 41, D-07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
KLEY, Ernst-Bernhard [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: KLEY, Ernst-Bernhard; (DE)
Agent: GEYER, Werner; Geyer, Fehners & Partner, Perhamerstrasse 31, D-80687 München (DE)
Priority Data:
P 43 14 574.4 29.04.1993 DE
Title (DE) LITHOGRAFISCH HERGESTELLTE STUFENLINSE FRESNELSCHER OBERFLÄCHENSTRUKTUR UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
(EN) LITHOGRAPHICALLY PRODUCED STEPPED LENS WITH A FRESNEL SURFACE STRUCTURE AND PROCESS FOR PRODUCING IT
(FR) LENTILLE A ECHELONS REALISEE DE MANIERE LITHOGRAPHIQUE, AYANT UNE STRUCTURE SUPERFICIELLE DE TYPE FRESNEL, ET SON PROCEDE DE REALISATION
Abstract: front page image
(DE)Bei einer lithografisch hergestellten Stufenlinse fresnelscher Oberflächenstruktur und einem Verfahren zu ihrer Herstellung besteht die Aufgabe, die hohe potentielle Belichtungsgeschwindigkeit schneller Elektronenstrahlbelichtungsanlagen, die mit variablem rechteckigem Strahlungsquerschnitt arbeiten, in eine hohe Effektivität zur Herstellung von Stufenlinsen fresnelscher Art umzusetzen und dabei die benötigten Datenmengen zu reduzieren. Gemäß der Erfindung werden Strahlungsdosisverteilungen, die Zylinderlinsen entsprechen, übereinanderbelichtet, wobei mindestens eine der Strahlungsdosisverteilungen der einer Fresnel-Zylinderlinse entspricht. Mit der Erfindung ist eine effektive lithografische Herstellung neuartiger Linsenstrukturen mit beliebiger Linsenkrümmung von radial sphärisch bis eliptisch realisierbar.
(EN)In a lithographically produced stepped lens with a Fresnel surface structure and a process for its production the high potential illumination speed of fast electron beam irradiation installations operating with a variable rectangular radiation cross section is to be converted into great efficacity for the production of Fresnel-type stepped lenses and thus reduce the quantity of data required. According to the invention, radiation dose distributions corresponding to cylindrical lenses, are applied in superimposed fashion so that at least one of the radiation dose distributions corresponds to one Fresnel cylindrical lens. The invention permits the effective lithographic production of novel lens structures with any lens curvature from radially spherical to elliptical.
(FR)L'invention concerne une lentille à échelons produite de manière lithographique et ayant une structure superficielle de type Fresnel, ainsi qu'un procédé permettant de la réaliser. L'invention vise à mettre à profit la vitesse potentielle élevée d'exposition d'installations rapides d'exposition par faisceau électronique qui travaillent avec une section rectangulaire variable de rayonnement, pour obtenir une meilleure efficacité lors de la fabrication de lentilles à échelons de type Fresnel et pour réduire par conséquent le volume de données requises. Selon l'invention, les répartitions de doses de rayonnement qui correspondent aux lentilles cylindriques, sont appliquées par superposition, de manière à ce qu'au moins une de ces répartitions corresponde à celle d'une lentille cylindrique de type Fresnel. Cette invention permet de réaliser de manière lithographique de nouvelles structures de lentilles de n'importe quelle courbure allant de radialement sphérique à elliptique.
Designated States: JP, RU, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)