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1. (WO1994015707) DEVICE FOR SIMULTANEOUSLY LETTING IN AT LEAST ONE PROCESS GAS INTO A PLURALITY OF REACTION CHAMBERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1994/015707    International Application No.:    PCT/DE1994/000032
Publication Date: 21.07.1994 International Filing Date: 17.01.1994
IPC:
B01J 4/00 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01), C30B 25/14 (2006.01)
Applicants: AIXTRON GMBH [DE/DE]; Kackertstrasse 15-17, D-52072 Aachen (DE) (For All Designated States Except US).
JÜRGENSEN, Holger [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: JÜRGENSEN, Holger; (DE)
Agent: MÜNICH, STEINMANN, SCHILLER; Wilhelm-Mayr-Strasse 11, D-80689 München (DE)
Priority Data:
P 43 00 989.1 15.01.1993 DE
Title (DE) VORRICHTUNG ZUM GLEICHZEITIGEN EINLASSEN WENIGSTENS EINES PROZESSGASES IN EINE MEHRZAHL VON REAKTIONSKAMMERN
(EN) DEVICE FOR SIMULTANEOUSLY LETTING IN AT LEAST ONE PROCESS GAS INTO A PLURALITY OF REACTION CHAMBERS
(FR) DISPOSITIF PERMETTANT A AU MOINS UN GAZ UTILISE DANS UN PROCESSUS INDUSTRIEL D'ENTRER SIMULTANEMENT DANS UNE PLURALITE DE CHAMBRES DE REACTION
Abstract: front page image
(DE)Beschrieben wird eine Vorrichtung zum gleichzeitigen Einlassen eines Prozeßgases in eine Mehrzahl von Reaktionskammern mit einer Prozeßgas-Versorgungseinrichtung, einem dem Vorratsbehälter (1) nachgeschaltetem Gas-Massenflussregler (MFC), wenigstens einem Verteilerrohr (2) mit großem Querschnitt, das eine Einlaßleitung, die mit dem Ausgangsanschluß des Massenflußreglers (MFC) verbunden ist, und eine Mehrzahl von Auslaßleitungen ausweist, deren Zahl der Zahl von Reaktionskammern entspricht, und deren Querschnitt klein verglichen mit dem Querschnitt des Verteilerrohrs ist, jeweils einem Regelventil (3) in jeder Auslaßleitung, dessen Ausgangsanschluß mit der jeweiligen Prozeßkammer verbunden ist.
(EN)A device for simultaneously letting in a process gas into a plurality of reaction chambers has a process gas supply device, a gas mass flow controller (MFC) arranged downstream of the reservoir (1), at least one distributing tube (2) with a large cross-section having one feeding line connected to the outlet of the mass flow controller (MFC) and a plurality of delivery lines whose number corresponds to the number of reaction chambers and whose cross-section is small when compared to the cross-section of the distributing tube, and one control valve (3) arranged in each delivery line whose outlet is connected to the corresponding process chamber.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant à un gaz utilisé dans un processus industriel d'entrer simultanément dans une pluralité de chambres de réaction, qui comprend un dispositif d'alimentation en gaz, un régulateur du débit de gaz (MFC) monté en aval du réservoir (1), au moins un tuyau distributeur (2) de section importante qui comprend une conduite d'admission reliée au raccordement de sortie du régulateur de débit (MFC), ainsi qu'une pluralité de conduites de sortie dont le nombre correspond à celui des chambres de réaction et dont la section est petite en comparaison de celle du tuyau distributeur, et une soupape de régulation (3) placée dans chacune des conduites de sortie dont le raccordement de sortie est relié à la chambre de processus correspondante.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)