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1. (WO1993021551) METHOD OF MANUFACTURING A MICROSYSTEM AND OF PRODUCING A MICROSYSTEM LASER FROM IT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1993/021551    International Application No.:    PCT/EP1993/000830
Publication Date: 28.10.1993 International Filing Date: 03.04.1993
Chapter 2 Demand Filed:    27.10.1993    
IPC:
G02B 6/43 (2006.01), H01L 25/16 (2006.01), H01S 3/0941 (2006.01), H01S 5/022 (2006.01), H01S 5/024 (2006.01), H01S 5/18 (2006.01), H01S 5/40 (2006.01), H01S 5/42 (2006.01)
Applicants: DEUTSCHE AEROSPACE AG [DE/DE]; Prandtlstraße, D-8012 Ottobrunn (DE) (For All Designated States Except US).
HEINEMANN, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MEHNERT, Axel [DE/DE]; (DE) (For US Only).
PEUSER, Peter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHMITT, Nikolaus [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SEIDEL, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: HEINEMANN, Stefan; (DE).
MEHNERT, Axel; (DE).
PEUSER, Peter; (DE).
SCHMITT, Nikolaus; (DE).
SEIDEL, Helmut; (DE)
Agent: DEUTSCHE AEROSPACE AG; Patente, Postfach 80 11 09, D-81663 München (DE)
Priority Data:
P 42 11 899.9 09.04.1992 DE
Title (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MIKROSYSTEMS UND DARAUS BILDUNG EINES MIKROSYSTEMLASERS
(EN) METHOD OF MANUFACTURING A MICROSYSTEM AND OF PRODUCING A MICROSYSTEM LASER FROM IT
(FR) PROCEDE DE FABRICATION DE MICROSYSTEMES ET FORMATION D'UN LASER A BASE D'UN TEL MICROSYSTEME
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrosystems und daraus der Bildung eines Mikrosystemlasers, der vorzugsweise als vertikales Strukturelement durch Kontaktierung von Waferplatten, welche unterschiedliche Funktionselemente eines Systems tragen, so daß dieses System einerseits so heterogene Funktionen wie Aktuatorik, Optik, Sensorik, Kühlsystem, Mikromechanik und Elektronik enthält und andererseits die diese Funktionen tragenden Wafer ein relativ homogenes Prozessing von jeweils auf einem Wafer integrierter recht ähnlicher Funktionen erlaubt, so daß die Komplexität des Systems erst durch die vertikale Anordnung dieser Funktionen entsteht.
(EN)The invention concerns a method of manufacturing a microsystem and of producing from it a microsystem laser designed preferably as a vertical structural element formed by contacting wafers carrying different functional system elements so that (a) this system includes heterogeneous functions such as actuators, optics, sensors, cooling system, micro-mechanics and electronics and (b) the wafers carrying these functions permit relatively homogeneous processing of the extremely similar functions integrated on each wafer so that the complexity of the system is only produced by the vertical disposition of these functions.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication de microsystèmes et formation d'un laser à base d'un tel microsystème, de préférence comme élément structurel, par la mise en contact de plaquettes portant divers éléments fonctionnels d'un système, de sorte que ce système comporte d'une part des fonctions aussi hétérogènes que: l'actuation, l'optique, la détection, le refroidissement, la micromécanique et l'électronique, et que d'autre part les plaquettes servant de support de ces fonctions permettent un traitement relativement homogène des fonctions très similaires intégrées dans chaque plaquette, la complexité du système résultant seulement de la disposition verticale de ces fonctions.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)