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1. (WO1993020580) DEVICE AND METHOD FOR HANDLING OBJECTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1993/020580    International Application No.:    PCT/DE1993/000274
Publication Date: 14.10.1993 International Filing Date: 25.03.1993
IPC:
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; Old Orchard Road, Armonk, NY 10504 (US) (For All Designated States Except US).
SWOBODA, Bruno [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHWARZE, Jürgen [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WILD, Ingo [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: SWOBODA, Bruno; (DE).
SCHWARZE, Jürgen; (DE).
WILD, Ingo; (DE)
Agent: KLOCKE, Peter; IBM Deutschland Informationssysteme GmbH, Patentwesen und Urheberrecht, Pascalstrasse 100, D-7000 Stuttgart 80 (DE)
Priority Data:
P 42 10 960.4 02.04.1992 DE
Title (DE) EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HANDHABUNG VON GEGENSTÄNDEN
(EN) DEVICE AND METHOD FOR HANDLING OBJECTS
(FR) INSTALLATION ET PROCEDE PERMETTANT LA MANIPULATION D'OBJETS
Abstract: front page image
(DE)Einrichtung und Verfahren zum Fertigen von Gegenständen, die bei der Herstellung Reinraumbedingungen erfordern, wobei in einem Reinraumbereich ein Bearbeitungsraum (6) und ein Reinigungbereich (8) vorgesehen sind, und diesem Bearbeitungsbereich (6) die Transportbehälter (12) durch einen Ionenstrom gereinigt werden. Das Konzept und das Verfahren erlauben die kostengünstige Anwendung von Reinrauminseln in Produktionsbereichen jeglicher Art und stellen daher eine kostengünstige Alternative zu den bekannten Methoden für Einrichtungen des Standes der Technik dar.
(EN)Described is a device and method for handling objects which, for their fabrication, require clean-room conditions. Located in an area of the clean room are a processing zone (6) and a cleaning zone (8), the transport containers (12) being cleaned, inside the processing zone (6), by a stream of ions. This concept and method make it possible to cut costs by using clean-room islands in production zones of any kind and thus represent an inexpensive alternative to prior art methods for existing installations.
(FR)Installation et procédé permettant la manipulation d'objets qui nécessitent des conditions de salle blanche lors de leur fabrication. A cet effet, une salle blanche comporte un espace de traitement (6) et une zone de nettoyage (8). Dans cet espace de traitement (6), les récipients de transport (12) sont nettoyés par un courant ionique. Cette conception et ce procédé permettent l'utilisation économique d'îlots propres dans des zones de production de tout genre et représentent donc une solution de remplacement économique en ce qui concerne les procédés de mise en ÷uvre d'installations correspondant à l'état actuel de la technique.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)