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1. (WO1992012527) METHOD OF THREE-DIMENSIONAL ATOMIC IMAGING
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/012527    International Application No.:    PCT/US1991/009660
Publication Date: 23.07.1992 International Filing Date: 24.12.1991
IPC:
G03H 5/00 (2006.01), H01J 37/295 (2006.01)
Applicants: BOARD OF REGENTS OF THE UNIVERSITY OF WISCONSIN SYSTEM [US/US]; P.O. Box 340, Milwaukee, WI 53211 (US)
Inventors: TONG, David, S., Y.; (US)
Agent: MEYERS, Philip, G.; Foley & Lardner, First Wisconsin Center, 777 East Wisconsin Avenue, Milwaukee, WI 53202-5367 (US)
Priority Data:
638,351 07.01.1991 US
Title (EN) METHOD OF THREE-DIMENSIONAL ATOMIC IMAGING
(FR) PROCEDE D'IMAGERIE ATOMIQUE TRIDIMENSIONNELLE
Abstract: front page image
(EN)A method of three-dimensional imaging of the atomic environment of atoms (202, 204, 206, 208, 210, 212) near the surface of the sample (104) involves forming a localized source electron diffraction pattern, detecting the intensity of the distribution of the pattern, and generating data corresponding to the intensity distribution. The intensity data is normalized and corrected for a phase shift error to produce data corresponding to a hologram. The process may be repeated at a several predetermined emitted electron energies, and the data at each energy is combined to yield a composite image intensity having improved resolution. The method of the invention can provide a lenseless electron microscope having a resolution better than one angstrom and which overcomes distortions caused by multiple scattering.
(FR)Un procédé d'imagerie tridimensionnelle de l'environnement atomique d'atomes (202, 204, 206, 208, 210, 212) près de la surface de l'échantillon (104) consiste à former une configuration de diffraction d'électrons à sources localisées, à détecter l'intensité de la répartition de la configuration, et à produire des données correspondant à la répartition de l'intensité. Les données de l'intensité sont normalisées puis soumises à une correction d'erreur de déphasage afin de produire des données correspondant à un hologramme. Le procédé peut être répété à plusieurs niveaux d'énergie d'électrons émis prédéterminés, et les données relatives à chaque niveau d'énergie sont combinées afin de produire une intensité d'image composite d'une résolution supérieure. Le procédé permet de réaliser un microscope à électrons sans lentille ayant une résolution supérieure à 1 angström et éliminant les distorsions provoquées par une diffusion multiple.
Designated States: CA, JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, MC, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)