Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persists, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO1992010742) SENSING SYSTEM FOR MEASURING CHARACTERISTIC VALUE OF MEMBER TO BE MEASURED BY UTILIZING CHANGES IN THERMAL RESISTANCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1992/010742 International Application No.: PCT/JP1991/001711
Publication Date: 25.06.1992 International Filing Date: 13.12.1991
IPC:
G01B 7/06 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01) ,G01N 25/18 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
7
Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
25
Investigating or analysing materials by the use of thermal means
18
by investigating thermal conductivity
Applicants:
ANRITSU CORPORATION [JP/JP]; 10-27, Minamiazabu 5-chome Minato-ku Tokyo 106, JP (AllExceptUS)
HIRAOKA, Jun [JP/JP]; JP (UsOnly)
KODATO, Setsuo [JP/JP]; JP (UsOnly)
NAITOH, Yoshinobu [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventors:
HIRAOKA, Jun; JP
KODATO, Setsuo; JP
NAITOH, Yoshinobu; JP
Agent:
SUZUYE, Takehiko ; Suzuye & Suzuye 7-2, Kasumigaseki 3-chome Chiyoda-ku Tokyo 100, JP
Priority Data:
2/41087514.12.1990JP
3/11926123.04.1991JP
Title (EN) SENSING SYSTEM FOR MEASURING CHARACTERISTIC VALUE OF MEMBER TO BE MEASURED BY UTILIZING CHANGES IN THERMAL RESISTANCE
(FR) SYSTEME DETECTEUR SERVANT A MESURER UNE VALEUR CARACTERISTIQUE D'UN ELEMENT A MESURER AU MOYEN DES VARIATIONS DE LA RESISTANCE THERMIQUE
Abstract:
(EN) A sensing system for measuring a thickness and a characteristic value such as thermal conductivity of a member to be measured by utilizing changes in thermal resistance with a simplified arrangement. A sensor has a thin film (202) for setting a temperature difference which is formed on a substrate (201) made of a poor thermal conductor and a thin film (203) for detecting a temperature difference. A change in the temperature difference of the substrate (201) before and after the member to be measured (200) connected to the substrate is converted into a change in the thermal resistance of the substrate (201) and outputted as a temperature difference information signal for calculating a specified characteristic value of the member to be measured. The sensing system includes an operational circuit (209) for converting a change in the temperature difference of the substrate, which is outputted from the sensor as a temperature difference information signal, into a change in a thermal resistance of the substrate and for calculating a specified characteristic value of the member to be measured in accordance with the converted change in thermal resistance and the known information of the member to be measured. A sensing method includes: a step of giving a temperature difference to the substrate; a step of detecting a first temperature difference in the substrate in a state where the member to be measured is not thermally connected to the substrate; a step of detecting a second temperature difference in the substrate in a state where the member to be measured is thermally connected to the substrate; and a step of converting the first and the second temperature differences into the thermal resistances of the substrate and calculating a specified characteristic value of the member to be measured. According to the sensing system of the present invention, a specified characteristic value of the member to be measured can be measured simply and with high accuracy only by thermally connecting the member to be measured to the substrate of the sensor.
(FR) Système détecteur servant à mesurer une épaisseur et une valeur caractéristique telle que la conductibilité thermique d'un élément à mesurer au moyen des variations de la résistance thermique. Le détecteur possède une couche mince (202) déterminant une différence de température et formée sur un substrat (201) constitué d'un matériau à faible conduction de chaleur, et une couche mince (203) apte à détecter une différence de température. Une modification de la différence de température du substrat (201) avant et après l'élément à mesurer (200) relié au substrat se transforme en modification de la résistance thermique du substrat (201) et sort sous forme de signal indicateur de la différence de température destiné au calcul d'une valeur caractéristique spécifiée de l'élément à mesurer. Le système détecteur comprend un circuit d'explosion (209) destiné à convertir une modification de la différence de température du substrat, laquelle modification est émise par le détecteur sous forme de signal indicateur de la différence de température, en modification de la résistance thermique du substrat, ainsi qu'à calculer une valeur caractéristique spécifiée de l'élément à mesurer en fonction de cette modification de le résistance thermique, et des informations connues relatives à l'élément à mesurer. Un procédé de détection consiste: à conférer au substrat une différence de température; à détecter une première différence de température du substrat dans un état dans lequel l'élément à mesurer n'est pas relié par voie thermique au substrat à détecter une seconde différence de température du substrat dans un état dans lequel l'élément à mesurer est relié par voie thermique au substrat; et à convertir les première et seconde différences de température en résistances thermiques du substrat, puis à calculer une valeur caractéristique spécifiée de l'élément à mesurer. Grâce à ce système détecteur, on peut mesurer de manière simple et très précise une valeur caractéristique de l'élément à mesurer en reliant par voie thermique l'élément à mesurer au substrat du détecteur.
Designated States: JP, US
European Patent Office (DE, FR, GB)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
EP0515695US5251980JP3118459