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1. (WO1992009999) POWER-SUPPLY CIRCUIT FOR PULSE-OPERATED VACUUM-ARC DEVICES
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Pub. No.: WO/1992/009999 International Application No.: PCT/DE1991/000870
Publication Date: 11.06.1992 International Filing Date: 11.11.1991
IPC:
H01J 37/32 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32
Gas-filled discharge tubes
Applicants:
SIEMROTH, Peter [DE/DE]; DE
SCHEIBE, Hans, Joachim [DE/DE]; DE
UHLEMANN, Hans, Jörg [DE/DE]; DE
Inventors:
SIEMROTH, Peter; DE
SCHEIBE, Hans, Joachim; DE
UHLEMANN, Hans, Jörg; DE
Common
Representative:
SIEMROTH, Peter; Werner-Seelenbinder-Straße 13 D-8060 Dresden, DE
Priority Data:
P 40 37 388.622.11.1990DE
Title (DE) SCHALTUNGSANORDNUNG ZUR STROMVERSORGUNG FÜR GEPULST BETRIEBENE VAKUUMBÖGEN
(EN) POWER-SUPPLY CIRCUIT FOR PULSE-OPERATED VACUUM-ARC DEVICES
(FR) CIRCUIT POUR L'ALIMENTATION EN COURANT D'ARCS A VIDE EN REGIME PULSE
Abstract:
(DE) Die Erfindung betrifft eine Schaltungsanordnung zur Stromversorgung für gepulst betriebene Vakuumbögen. Objekte, auf die sich die Erfindung bezieht, sind gepulst betriebene Vakuumbögen, wie sie z.B. als Plasmaquelle in der Beschichtungstechnik und zur massenspektroskopischen Untersuchung von leitfähigen Proben genutzt werden. Erfindungsgemäss ist bei der Schaltungsanordnung zur Stromversorgung für gepulst betriebene Vakuumbögen eine Diode (8) parallel zur Entladungsstrecke angeordnet, derart, dass die Kathode der Diode mit der Bogenanode (4) und die Anode der Diode mit der Bogenkathode (5) verbunden ist.
(EN) The invention is applicable to pulse-operated vacuum arcs, as used for instance as plasma sources in the production of coatings and for the mass-spectroscopic analysis of electrically conducting materials. The invention calls for a diode (8) to be connected in parallel with the discharge gap so that the cathode of the diode is connected to the arc anode (4) and the anode of the diode to the arc cathode (5).
(FR) La présente invention se réfère à un circuit pour l'alimentation en courant d'arcs à vide en régime pulsé. Des objets auxquels se réfère l'invention sont des arcs à vide en régime pulsé, tels qu'ils sont utilisés p. ex. comme source de plasma dans la technique des revêtements et pour l'examen spectroscopique de masse d'échantillons conducteurs. Selon l'invention, dans le circuit pour l'alimentation en courant d'arcs à vide en régime pulsé, une diode (8) est disposée parallèlement au trajet de décharge, de sorte que la cathode de la diode soit reliée à l'anode à arc (4) et l'anode de la diode à la cathode à arc (5).
Designated States: JP, SU, US
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE)
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)
Also published as:
EP0512082