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1. (WO1992004623) PROCESS AND DEVICE FOR THE ANALYSIS AND DETERMINATION OF THE CONCENTRATION OF ELEMENTS IN THE SURFACE REGION OF OBJECTS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/004623    International Application No.:    PCT/DE1991/000677
Publication Date: 19.03.1992 International Filing Date: 27.08.1991
Chapter 2 Demand Filed:    25.03.1992    
IPC:
G01N 23/223 (2006.01)
Applicants: GKSS-FORSCHUNGSZENTRUM GEESTHACHT GMBH [DE/DE]; Max-Planck-Straße, D-2054 Geesthacht (DE) (For All Designated States Except US).
BORMANN, Rüdiger [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHWENKE, Heinrich [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Inventors: BORMANN, Rüdiger; (DE).
SCHWENKE, Heinrich; (DE)
Agent: NIEDMERS, Ole; Niedmers & Schöning, Stahltwiete 23, D-22761 Hamburg (DE)
Priority Data:
P 40 28 043.8 05.09.1990 DE
Title (DE) BESTIMMUNG DER KONZENTRATION VON ELEMENTEN IM OBERFLÄCHENBEREICH EINES OBJEKTS
(EN) PROCESS AND DEVICE FOR THE ANALYSIS AND DETERMINATION OF THE CONCENTRATION OF ELEMENTS IN THE SURFACE REGION OF OBJECTS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF D'ANALYSE ET DE DETERMINATION DE LA CONCENTRATION D'ELEMENTS DANS DES ZONES SUPERFICIELLES D'OBJETS
Abstract: front page image
(DE)Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung (10) zur Analyse und Bestimmung der Konzentration von Elementen im Oberflächenbereich von im wesentlichen ebenen Objekten (11) mit geringer Rauhigkeit mittels der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalysemethode vorgeschlagen. Dabei wird das Objekt (11) äußerlich unter Anwendung eines Zerstäubungs- oder Verdampfungsverfahrens (12) abgetragen und unmittelbar nachfolgend, an einen Meßort (14) überführt, mittels der Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalysemethode im Abtragbereich der Objektoberfläche untersucht.
(EN)The proposal is for a process and device (10) for the analysis and determination of the concentration of elements at predetermined depths in substantially plane objects (11) of low roughness by the total-reflection X-ray fluorescence analysis method. Here, the object (11) is scraped externally by a pulverisation or evaporation process and immediately examined at a measurement point (14) in the scraped region of the object's surface by the total-reflection X-ray fluorescence analysis method.
(FR)Un procédé et un dispositif (10) permettent d'analyser et de déterminer la concentration d'éléments dans des zones superficielles d'objets (11) essentiellement plans à rugosité réduite par la méthode d'analyse fluoroscopiques par rayons X à réflexion total. L'objet (11) est extérieurement attaqué selon un procédé d'évaporation ou de pulvérisation (12), puis la zone attaquée de la surface de l'objet est immédiatement examinée en un point de mesure (14) par la méthode d'analyse fluoroscopique par rayons X à réflexion totale.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)