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1. (WO1992004619) REFLECTIVE OPTICAL INSTRUMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/004619    International Application No.:    PCT/US1991/006514
Publication Date: 19.03.1992 International Filing Date: 06.09.1991
IPC:
G01B 11/02 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01), G01J 1/16 (2006.01), G01N 21/55 (2006.01)
Applicants: GOLBERSTEIN, Moshe [US/US]; (US)
Inventors: GOLBERSTEIN, Moshe; (US)
Agent: HARMON, James, V.; 1750 Northstar Center West, 625 Marquette Avenue, Minneapolis, MN 55402 (US)
Priority Data:
580,824 11.09.1990 US
672,317 20.03.1991 US
Title (EN) REFLECTIVE OPTICAL INSTRUMENT
(FR) INSTRUMENT OPTIQUE REFLECTEUR
Abstract: front page image
(EN)An optical instrument for measuring characteristics of a specimen comprising a light source (10) to project a beam (14) onto the surface of a specimen at a selected oblique angle of incidence $g(b). The instrument contains a photosensor (30) to receive the beam reflected from the specimen at the same angle $g(b). A conductor (31) is provided for carrying current to signal conditioning hardware (21) used to compare the current from two or more photosensors from different segments of the same photosensor providing information concerning the specimen. Photosensor means (30) is positioned facing the specimen on an optical axis located normal to the surface of the specimen and intermediate the incident and reflected beams from the light source to receive a beam reflected from the specimen normal to its surface. Signals from the photosensors are fed to the signal conditioning hardware (21) to measure the optical power and to compare signals for measuring characteristics of the surface.
(FR)Un instrument optique permettant de mesurer les caractéristiques d'une éprouvette ou un échantillon comprend une source de lumière (10) pour projeter un faisceau (14) sur la surface de l'échantillon suivant un angle d'incidence oblique choisi $g(b). L'instrument contient un photosenseur (30) pour recevoir le rayon réfléchi par l'échantillon suivant le même angle $g(b). Un conducteur (31) est prévu pour acheminer le courant vers un appareil de conditionnement de signaux (21) utilisé pour comparer le courant provenant de deux photosenseurs ou davantage à partir de segments différents du même photosenseur fournissant des informations relatives à l'échantillon. Un photosenseur (30) est positionné face à l'échantillon sur un axe optique normal à la surface de l'échantillon et entre les faisceaux incident et réfléchi de la source de lumière pour recevoir un faisceau réfléchi de l'échantillon normal à sa surface. Des signaux provenant des photosenseurs sont envoyés à l'appareil de conditionnement de signaux (21) pour mesurer la puissance optique et comparer les signaux en vue de mesurer des caractéristiques de la surface.
Designated States: CA, JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)