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1. (WO1992003697) OPTICAL APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/003697    International Application No.:    PCT/GB1991/001410
Publication Date: 05.03.1992 International Filing Date: 20.08.1991
Chapter 2 Demand Filed:    09.03.1992    
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/06 (2006.01)
Applicants: BRITISH TECHNOLOGY GROUP LTD [GB/GB]; 101 Newington Causeway, London SE1 6BU (GB) (For All Designated States Except US).
SOMEKH, Michael, Geoffrey [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Inventors: SOMEKH, Michael, Geoffrey; (GB)
Agent: CULLIS, Roger; Patent Department, British Technology Group Ltd., 101 Newington Causeway, London SE1 6BU (GB)
Priority Data:
9018215.5 20.08.1990 GB
Title (EN) OPTICAL APPARATUS
(FR) APPAREIL D'OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)Optical apparatus for measuring the topographic properties of a surface uses a beam of coherent radiation which is split by a beam splitter (2) into a reference beam and a probe beam. The probe beam is modulated by a Bragg cell which is switched at two frequencies ($g(v)¿1?, $g(v)¿2?). A detector (6) recombines the components of the probe beam after reflection to produce a plurality of tone bursts the phase differences of which correspond to variations in the surface topography.
(FR)Appareil d'optique servant à mesurer les propriétés topographiques d'une surface. Ledit appareil utilise un faisceau de rayonnement cohérent qu'un fractionneur (2) décompose en un faisceau de référence et un faisceau de test. Le faisceau de test est modulé par un cristal de Bragg qui est commuté au niveau de deux fréquences ($g(v)¿1?, $g(v)¿2?). Un détecteur (6) recombine les composantes du faisceau de test après la réflexion pour produire une pluralité de signaux sonores dont les différences de phase correspondent aux variations de la topographie de la surface.
Designated States: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)