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1. (WO1992001234) PROCESS AND APPARATUS FOR DETERMINING CONCENTRATION IN SEMICONDUCTORS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/001234    International Application No.:    PCT/HU1991/000035
Publication Date: 23.01.1992 International Filing Date: 11.07.1991
Chapter 2 Demand Filed:    27.01.1992    
IPC:
G01R 31/28 (2006.01)
Applicants: SEMILAB FÉLVEZETO^' FIZIKAI LABORATÓRIUM RT [HU/HU]; Fóti út 56, H-1047 Budapest (HU) (For All Designated States Except US).
TÜTTO^', Péter [HU/HU]; (HU) (For US Only).
ENDRÉDI, Gábor [HU/HU]; (HU) (For US Only)
Inventors: TÜTTO^', Péter; (HU).
ENDRÉDI, Gábor; (HU)
Agent: DANUBIA; P.O. Box 198, H-1368 Budapest (HU)
Priority Data:
4177/90 12.07.1990 HU
Title (EN) PROCESS AND APPARATUS FOR DETERMINING CONCENTRATION IN SEMICONDUCTORS
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETERMINATION DE LA CONCENTRATION DES PORTEURS DANS DES SEMI-CONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a process for determining the carrier concentration in a semiconductor by applying between an ohmic contact and a rectifying contact formed on said semiconductor, a d.c. voltage resulting in a reverse bias U¿dc?, and two periodic excitation signals having the frequencies $g(V)¿1? and $g(V)¿2?, respectively. The process can be characterized in that $g(V)¿1? is bigger than $g(V)¿2?, such that $g(V)¿1?, $g(V)¿2?, their difference ($g(V)¿1?-$g(V)¿2?) and their sum ($g(V)¿1?+$g(V)¿2?) are in the same order of magnitude, selecting two components from the electronic response of said semiconductor to the excitation, the first component being the electrical response to said frequency $g(V)¿1? and $g(V)¿2? and the second component being a first order intermodulation product of one of $g(V)¿1? and $g(V)¿2?, and determining said carrier concentration by simultaneous, parallel analysis of said first and second components. The invention relates further to an apparatus for determining the carrier concentration in a semiconductor comprising a semiconductor sample having an ohmic contact and a rectifying contact; means for applying a d.c. voltage between said contacts, resulting in a reverse bias U¿dc?, and two periodic excitation signals having the frequencies $g(V)¿1? and $g(V)¿2? respectively; oscillators to generate said periodic excitation signals; means for generating reference signals; means for amplifying two components selected from the electronic response of said semiconductor to the excitation, the first component being the electrical response to said frequency $g(V)¿1? or $g(V)¿2?, and the second component being a first order intermodulation product of one of $g(V)¿1? and $g(V)¿2?; and two phase-sensitive rectifiers for rectifying said selected two a.c. components.
(FR)L'invention se rapporte à un procédé servant à déterminer la concentration des porteurs dans un semi-conducteur, au moyen de l'application d'une tension de courant continu entre un contact ohmique et un contact de redressement formés sur ledit semi-conducteur, provoquant une polarisation inversée U¿dc?, ainsi que deux signaux d'excitation périodique de fréquences respectives $g(V)¿1? et $g(V)¿2?. Le procédé peut se caractériser par le fait que $g(V)¿1? est supérieur à $g(V)¿2?, de façon que $g(V)¿1?, $g(V)¿2?, leur différence ($g(V)¿1?-$g(V)¿2?) et leur somme ($g(V)¿1?+$g(V)¿2?) ont le même ordre d'intensité, par sélection de deux composantes à partir de la réaction électronique dudit semi-conducteur à l'excitation, la première constante étant la réaction électrique à ladite fréquence $g(V)¿1? et $g(V)¿2? et la deuxième composante étant un produit d'intermodulation de premier ordre de l'un de $g(V)¿1? et de $g(V)¿2?, et par détermination de ladite concentration des porteurs par l'analyse simultanée et parallèle desdites première et deuxième composantes. L'invention se rapporte de plus à un dispositif servant à déterminer la concentration des porteurs dans un semi-conducteur, et comportant un échantillon de semi-conducteur pourvu d'un contact ohmique et d'un contact de redressement; des moyens d'application d'une tension de courant continu entre lesdits contacts, provoquant une polarisation inversée U¿dc?, ainsi que deux signaux d'excitation périodique de fréquences respectives $g(V)¿1? et $g(V)¿2?; des oscillateurs servant à générer lesdits signaux d'excitation périodique; des moyens servant à générer des signaux de référence; des moyens servant à amplifier deux composantes sélectionnées à partir de la réaction électronique dudit semi-conducteur à l'excitation, la première composante étant la réaction électrique à ladite fréquence $g(V)¿1? ou $g(V)¿2?, et la deuxième composante étant un produit d'intermodulation de premier ordre de l'un de $g(V)¿1? et $g(V)¿2?; et deux redresseurs à sensibilité de phase servant à redresser lesdites composantes de courant alternatif sélectionnées.
Designated States: CA, HU, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)