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1. (WO1992001160) VALVE AND MICROPUMP INCORPORATING SAID VALVE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/001160    International Application No.:    PCT/EP1991/001240
Publication Date: 23.01.1992 International Filing Date: 03.07.1991
IPC:
F04B 43/04 (2006.01), F04B 53/10 (2006.01), F15C 5/00 (2006.01)
Applicants: WESTONBRIDGE INTERNATIONAL LIMITED [IE/IE]; 43, 45 Northumberland Road, Ballsbridge, Dublin 4 (IE) (For All Designated States Except US).
VAN LINTEL, Harald, T., G. [NL/NL]; (NL)
Inventors: VAN LINTEL, Harald, T., G.; (NL)
Agent: LAMOUREUX, B.; ICB Ingénieurs Conseils en Brevets S.A., Passage Max. Meuron 6, CH-2001 Neuchâtel (CH)
Priority Data:
2302/90 10.07.1990 CH
3680/90 20.11.1990 CH
Title (EN) VALVE AND MICROPUMP INCORPORATING SAID VALVE
(FR) VALVE ET MICROPOMPE INCORPOREE A LADITE VALVE
Abstract: front page image
(EN)A valve is formed by machining a silicon wafer (18) bonded to a glass wafer (2). This machining forms a membrane (44) and a sealing ring. Part of the surface of the membrane (44) and optionally the sealing ring are oxidised in order to impart a mechanical pre-tension to the membrane holding the valve in a closed position. Further etching (52) may be carried out in a manner such that in the absence of the aforesaid pre-tension the valve is in the open position at rest.
(FR)Une valve est formée par usinage d'une tranche de silicium (18) collée à une tranche de verre (2). Cet usinage permet d'obtenir une membrane (44) ainsi qu'une bague d'étanchéité. Une partie de la surface de la membrane (44) et éventuellement la bague d'étanchéité sont oxydées de façon à créer une précontrainte mécanique dans la membrane maintenant la valve en position fermée. On peut effectuer, par attaque, une gravure supplémentaire (52) de telle sorte qu'en l'absence de ladite précontrainte, la valve se trouve en position ouverte au repos.
Designated States: AU, CA, JP, KR, SU, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)