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1. (WO1992000514) MODULAR SCATTEROMETER WITH INTERCHANGEABLE SCANNING HEADS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/000514    International Application No.:    PCT/US1991/004625
Publication Date: 09.01.1992 International Filing Date: 28.06.1991
Chapter 2 Demand Filed:    23.01.1992    
IPC:
G01N 21/01 (2006.01), G01N 21/47 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01)
Applicants: TMA TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 601 Haggerty Lane, P.O. Box 3118, Bozeman, MT 59715 (US)
Inventors: STOVER, John, C.; (US).
BENDER, James, A.; (US).
BERNT, Marvin, L.; (US).
BJORK, Donald, R.; (US).
CHAUSSE, Paul, D.; (US).
CHEEVER, Daniel, R.; (US).
KIRCHNER, Kelly, H.; (US).
SCHIFF, Tod, F.; (US).
SKURDAL, Vincent, C.; (US)
Agent: PEDERSEN, Brad, D.; Dorsey & Whitney, 2200 First Bank Place East, Minneapolis, MN 55402 (US)
Priority Data:
547,468 29.06.1990 US
Title (EN) MODULAR SCATTEROMETER WITH INTERCHANGEABLE SCANNING HEADS
(FR) SCATTEROMETRE MODULAIRE A TETES DE BALAYAGE INTERCHANGEABLES
Abstract: front page image
(EN)An optical measurement device produces quality light scatter measurements using Bidirectional Reflective Distribution Function (BRDF) technique to analyze data generated from an accurate, portable, relatively inexpensive scatterometer. The scatterometer is provided with interchangeable scanning heads (28, 29, 30) each scanning head being equipped with ROM data storage containing certain configuration information about the scanning head. The use of the interchangeable scanning heads (28, 29, 30) allow the present invention to make measurements of light scatter for a wide variety of applications and samples under a variety of environmental conditions where scatter measurement has previously not been feasible.
(FR)Un dispositif de mesure optique produit des mesures de diffusion de lumière de qualité à l'aide de techniques à fonction de répartition réfléchissante bidirectionnelle (FRRB) afin d'analyser des données produites par un scattéromètre précis, portatif relativement peu coûteux. Le scattéromètre est doté de têtes de balayage interchangeables, chaque tête de balayage étant équipée d'une mémoire de données ROM contenant certaines informations de configuration relatives à la tête de balayage. L'emploi des têtes de balayage interchangeables permet à l'invention d'effectuer des mesures de diffusion de lumière dans une large gamme d'applications et d'échantillons, dans une variété d'états environnementaux où des mesures de diffusion n'étaient pas faisables auparavant.
Designated States: CA, JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)