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1. (WO1992000508) THIN-FILM AIRFLOW SENSOR WITH ADDITIONAL HEATING ELEMENT
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1992/000508    International Application No.:    PCT/EP1991/001199
Publication Date: 09.01.1992 International Filing Date: 26.06.1991
Chapter 2 Demand Filed:    21.11.1991    
IPC:
G01F 1/684 (2006.01), G01F 1/698 (2006.01), G01P 5/10 (2006.01), H01L 27/02 (2006.01)
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, D-80333 München (DE) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, JP, LU, NL, SE only).
SIEMENS AUTOMOTIVE L.P. [US/US]; Intellectual Property Department, 2400 Executive Hills Drive, Auburn Hills, MI 48321-7071 (US) (CA only)
Inventors: COOK, Charles, Robert, Jr.; (US).
CHOI, Il, Hyun; (US)
Common
Representative:
SIEMENS AG; Postfach 22 16 34, D-8000 München (DE)
Priority Data:
546,477 29.06.1990 US
Title (EN) THIN-FILM AIRFLOW SENSOR WITH ADDITIONAL HEATING ELEMENT
(FR) DETECTEUR D'ECOULEMENT D'AIR A FILM MINCE AVEC ELEMENT DE CHAUFFAGE ADDITIONNEL
Abstract: front page image
(EN)Two discrete self-heating elements (60, 62) are provided in a silicon based sensor structure. The first, ''transfer'' self-heating element (60) receives constant current and elevates the temperature of the sensor structure to a desired initial temperature above ambient. The second, ''sensor'' self-heating element (62) is thermally coupled to the first element and receives a current adjusted based on the difference between ambient temperature and the sensor structure temperature so as to maintain a constant temperature difference. Most of the current flowing through the sensor heating element is thus attributable to fluid flow, and this current can therefore be conveniently used to determine fluid flow parameters (e.g., mass air flow). The elements may comprise thin films which may be interlaced or stacked vertically.
(FR)Deux éléments auto-chauffants distincts (60, 62) sont ménagés dans un dispositif de détection à base de silicium. Le premier élément auto-chauffant de ''transfert'' (60) reçoit un courant constant et augmente la température du dispositif de détection jusq'à une température initiale voulue, supérieure à la température ambiante. Le second élément auto-chauffant de ''détection'' (62) est thermiquement couplé au premier et reçoit un courant modifié selon la différence entre la température ambiante et la température du dispositif de détection de manière qu'une différence de température constante soit maintenue. La presque totalité du courant traversant l'élément détecteur chauffant peut ainsi être attibuée à l'écoulement de fluide, et ce courant peut par conséquent être avantageusement utilisé pour déterminer les paramètres d'écoulement de fluide (par exemple l'écoulement d'air massique). Les éléments peuvent comprendre des films minces qui peuvent être entrelacés ou verticalement superposés.
Designated States: CA, JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)