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1. (WO1991017564) SERVO GUIDED STAGE SYSTEM
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1991/017564 International Application No.: PCT/US1990/005877
Publication Date: 14.11.1991 International Filing Date: 12.10.1990
Chapter 2 Demand Filed: 25.11.1991
IPC:
H01L 21/68 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components
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for positioning, orientation or alignment
Applicants:
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; Armonk, NY 10504, US
Inventors:
DORAN, Samuel, Kay; US
KENDALL, Robert, Arthur; US
Agent:
MELLER, Michael, N.; Meller & Associates P.O. Box 2198 Grand Central Station New York, NY 10163, US
Priority Data:
516,84430.04.1990US
Title (EN) SERVO GUIDED STAGE SYSTEM
(FR) SYSTEME D'ETAGES SERVO-GUIDE
Abstract:
(EN) A positioning stage comprises a base, a stage plate slideably supported on said base, at least three linear drive means rotatably engaging both the stage plate, and the base for moving the stage plate upon the surface of the base. With at least three separate drive displacements, motion of the stage plate with respect to the base is provided along the rectilinearly disposed x and y axes and rotation is also provided. The linear drive means include a motor and a capstan driven by the motor and a drivebar frictionally engaging the capstan. Another object of the stage preferably includes a spring loaded mechanism which provides a constant down-load at the end of the drive bar which engages the stage plate via a ball joint. The down load remains constant regardless of the varying extension of the drive bar. A ball joint provides the ability to alter the preload between the cones and the ball of the ball joint dynamically to desired levels. The positioning system includes an interferometer system comprised of an integrated structure providing a plurality of interferometer optical systems on a unitary element. The system includes integrated, parallel, dual axis plane mirror interferometers in the unitary element.
(FR) Un étage de positionnement comporte une base, une plaque montée pour glisser sur ladite base, et au moins trois dispositifs d'entraînement linéaire destinés à contacter en rotation à la fois la plaque et la base afin de déplacer la plaque sur la surface de la base. Grâce à au moins trois déplacements d'entraînement séparés, la plaque se déplace par rapport à la base selon les axes x et y agencés de manière rectiligne, et la rotation est également prévue. Les dispositifs d'entraînement linéaire comprennent un moteur et un cabestan entraîné par ce moteur, ainsi qu'une barre d'entraînement qui se frotte contre le cabestan. De préférence, l'étage comporte un mécanisme à ressort communiquant une force orientée vers le bas à l'extrémité de ladite barre qui est reliée à ladite plaque par l'intermédiaire d'un joint à rotule. Cette force demeure constante quelle que soit l'extension de la barre. Un joint à rotule permet une modification dynamique de la précharge entre les cônes et la rotule du joint à rotule et jusqu'à des niveaux voulus. Le système de positionnement comprend un système interféromètre constitué d'une structure intégrée possédant une pluralité de systèmes optiques d'interféromètre disposés sur un élément unitaire. Celui-ci comprend des interféromètres intégrés et parallèles à miroir plan et à deux axes.
Designated States: JP
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)
Also published as:
EP0527739JPH05504731