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1. (WO1991008655) HEAT-TREATMENT DEVICE AND METHOD OF DRYING FUNCTIONAL THIN FILM USING SAID DEVICE
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請 求 の 範 囲

1 . 柱状または筒状の被熱処理物を同心状に収容した状態で、当該 被熱処理物を周囲から加熱する、 筒状の直接通電 ·遠赤外線セラ ミックスヒータ一を備えることを特徴とする熱処理装置。

2 . 上記請求項 1記載の筒状の直接通電 ·遠赤外線セラミックスヒ 一ターが、複数枚の板状セラミックスヒーターを、断面多角形の 筒状に配列することで構成されていることを特徴とする熱処理装

S.

3 . 多角形の角数が 6以上である請求項 2記載の熱処理装置。

. 筒状の直接通電 · 遠赤外線セラミックスヒーターと被熱処理物 とが、熱処理時に相対回転されるようになつている請求項 2記載 の熱処理装置。

5 . 被熱処理物が筒状であり、当該筒状の被熱処理物の内法寸法よ りも外径が小さい、管状または棒状の直接通電♦遠赤外線セラミ ックスヒーターが、筒状の直接通電 · 遠赤外線セラミックスヒ一 夕一内に同心状に配置されている請求項 1記載の熱処理装置。 , 筒状の直接通電♦遠赤外線セラ ミックスヒーターと被熱処理物 との間に、当該直接通電 · 遠赤外線セラミックスヒ一夕一から放 射される遠赤外線のうち、 特定波長領域の成分のみを透過する波 長カ ツトフィルタが介装されている請求項 1記載の熱処理装置。 . 上記請求項 1記載の筒状の直接通電♦遠赤外線セラミックスヒ 一夕一が、 軸線を略鉛直方向に向けて配置されていると共に、 こ の直接通電 * 遠赤外線セラミックスヒータ一内に被熱処理物を同 心状に収容するため、 当該被熱処理物を直立状態で保持するパレ ッ トを備えていることを特徴とする熱処理装置。

. 直接通電 · 遠赤外線セラミックスヒータ一が、その上下両端に 非加熱領域を有しており、 パレツ卜力《、上記非加熱領域を避けて 被熱処理物を保持するための段部を備えている請求項 7記載の熱 処理装置。

9 . 直接通電 * 遠赤外線セラミックスヒータ一の上部に、被熱処理 物の上端から下端へ向けて風を流通させる送風手段が配置されて いると共に、被熱処理物を保持するパレツ卜には、上記送風手段 からの風を通過させる通風孔が設けられている請求項 7記載の熱 処理装置。

10, 上記請求項 7記載のパレツ卜が、当該パレットを搬送するため の搬送レール上に、複数個配置されていると共に、筒状の直接通 電 · 遠赤外線セラミックスヒーターが、上記搬送レールによる被 熱処理物の搬送経路に対して進退自在に配置されていることを特 徴とする熱処理装置。

11. 被熱処理物の熱処理後、搬送レールによる被熱処理物の搬送経 路から退避した筒状の直接通電 ·遠赤外線セラミックスヒーター を冷却する冷却手段を備えている請求項 10記載のの熱処理装置。

12, 筒状の直接通電♦遠赤外線セラミックスヒーターの外周が、当 該直接通電 · 遠赤外線セラミックスヒーターに対して着脱自在な 断熱材によつて包囲されていると共に、 上記直接通電 ·遠赤外線 セラミックスヒーターの冷却手段による冷却時には、この断熱材 力 <、直接通電 · 遠赤外線セラミックスヒーターから分離されて別 個に冷却されるようになっている請求項 11記載の熱処理装置。

13. 断熱材を直接通電 ·遠赤外線セラミックスヒーターと別個に冷 却する冷却手段が、 断熱材内に揷通された冷却管である請求項 12 記載の熱処理装置。

1 4. 上記請求項 1 1記載の筒状の直接通電,遠赤外線セラミックスヒ 一夕一が、 2組、搬送レールによる被熱処理物の搬送経路に対し て交互に進退して、 交互に被熱処理物を加熱するように配置され ていると共に、 一方の直接通電♦遠赤外線セラミックスヒー夕一 による被熱処理物の熱処理時に、 他方の直接通電 · 遠赤外線セラ ミックスヒーターが冷却手段によって冷却されるようになってい ることを特徴とする熱処理装置。

丄 5. 上記請求項 1記載の熱処理装置により、柱状または筒状の基体 を所定の加熱温度まで昇温させて所定時間加熱することで、 当該 基体の表面に形成された高分子系塗布液の塗膜を乾燥させて機能 性薄膜を形成する機能性薄膜の乾燥方法において、 上記高分子系 塗布液の塗膜に対し、所定の自然乾燥を行った後、上記直接通電 •遠赤外線セラミックスヒーターを用いて、基体の昇温を、高分 子系塗布液中の組成物や配合量により決定される成膜後の塗膜全 体のガラス転移温度までは急速に行い、 ガラス転移温度以降は昇 温速度を下げて、徐々に所定の加熱温度まで昇温することを特徴 とする機能性薄膜の乾燥方法。

16. 上記請求項 1記載の熱処理装置により、柱状または筒状の基体 を所定の加熱温度まで昇温させて所定時間加熱することで、 当該 基体の表面に形成された高分子系塗布液の塗膜を乾燥させて機能 性薄膜を形成する機能性薄膜の乾燥方法において、 上記高分子系 塗布液の塗膜に対し、所定の自然乾燥を行った後、上記直接通電 •遠赤外線セラ ミックスヒ一タ一を用いて、基体の昇温を、高分 子系塗布液中の組成物や配合量により決定される成膜後の塗膜全 体のガラス転移温度までは急速に行い、 ガラス転移温度で所定時 間保持した後、所定の加熱温度まで昇温することを特徴とする機 能性薄膜の乾燥方法。