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1. (WO1991006974) IMPROVEMENTS TO DEVICES FOR ADJUSTING THE TEMPERATURE OF AN ITEM BY BLOWING A GAS AT THE DESIRED TEMPERATURE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1991/006974 International Application No.: PCT/FR1990/000766
Publication Date: 16.05.1991 International Filing Date: 24.10.1990
IPC:
H01L 21/00 (2006.01) ,H01L 23/34 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Details of semiconductor or other solid state devices
34
Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation
Applicants:
CARRIER S.A. [FR/FR]; Route de Thil F-01120 Montluel, FR (AllExceptUS)
GALIAN, François [FR/FR]; FR (UsOnly)
Inventors:
GALIAN, François; FR
Agent:
MARTIN, Jean-Jacques; Cabinet Regimbeau 26, avenue Kléber F-75116 Paris, FR
Priority Data:
89/1392224.10.1989FR
Title (EN) IMPROVEMENTS TO DEVICES FOR ADJUSTING THE TEMPERATURE OF AN ITEM BY BLOWING A GAS AT THE DESIRED TEMPERATURE
(FR) PERFECTIONNEMENTS APPORTES AUX DISPOSTIFS PERMETTANT D'AJUSTER LA TEMPERATURE D'UN ELEMENT PAR SOUFFLAGE D'UN GAZ A LA TEMPERATURE SOUHAITEE
Abstract:
(EN) A thermal adjustment device for adjusting the temperature of an item to a desired value by blowing a gas at the desired temperature, comprising a pipe (1) for supplying gas at the appropriate temperature and means (9, 10) for insulating the item from the ambiant atmosphere. It also comprises a plate (14) distributing the gas over the entire main surface (8) of the item (5) exposed to the gas, the dimensions of this plate being at least those of the main surface of the item, and provided with an opening (17) virtually coaxial to the gas supply pipe. This plate is positioned between the end of tube (1) and the surface (8) of the item and extends approximately parallel to the said surface (8), said plate being associated with elastic means (15) enabling it to move transversally to the surface of the item, said means being calibrated so that, in operation, the plate is held in equilibrium away from the surface of the item under the effect of thrust by the elastic means and reaction in the opposite direction due to pressure of the gas flow in contact with the surface of the item.
(FR) Dispositif de réglage thermique pour ajuster à une valeur souhaitée la température d'un élément, par soufflage d'un gaz à la température souhaitée. Ce dispositif comporte un conduit (1) d'amenée du gaz à la température appropriée et des moyens (9, 10) d'isolement de l'élément vis-à-vis de l'atmosphère ambiante; il comporte en outre une plaque (14) de répartition du gaz sur toute la surface principale (8) de l'élément (5) exposée au gaz, cette plaque ayant des dimensions au moins égales à celles de la surface principale de l'élément et étant munie d'une ouverture (17) sensiblement coaxiale au conduit d'amenée du gaz, cette plaque étant disposée entre l'extrémité du tube (1) et la surface (8) de l'élément en s'étendant sensiblement parallèlement à ladite surface (8), ladite plaque étant associée à des moyens élastiques (15) qui autorisent son déplacement transversalement à la surface de l'élément et qui sont tarés de manière telle qu'en fonctionnement la plaque soit maintenue en équilibre à distance de la surface de l'élément sous l'action de l'effort de poussée des moyens élastiques et de la réaction dirigée en sens inverse due à la pression du gaz circulant au contact de la surface de l'élément.
Designated States: JP, US
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE)
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)