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1. WO1991001010 - MICROMECHANICAL EMBODIMENT OF A CAPACITIVE ACCELERATION SENSOR

Publication Number WO/1991/001010
Publication Date 24.01.1991
International Application No. PCT/DE1990/000510
International Filing Date 06.07.1990
Chapter 2 Demand Filed 19.12.1990
IPC
G01P 15/125 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION OR SHOCK; INDICATING PRESENCE OR ABSENCE OF MOVEMENT;  INDICATING DIRECTION OF MOVEMENT 
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces
08with conversion into electric or magnetic values
125by capacitive pick-up
CPC
G01P 15/125
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
15Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
02by making use of inertia forces ; using solid seismic masses
08with conversion into electric or magnetic values
125by capacitive pick-up
Applicants
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 D-80333 München, DE (AllExceptUS)
  • HOUDEAU, Detlef [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • KÜMMLEE, Horst [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventors
  • HOUDEAU, Detlef; DE
  • KÜMMLEE, Horst; DE
Common Representative
  • SIEMENS AG; Postfach 22 16 34 D-8000 München 22, DE
Priority Data
P 39 22 476.706.07.1989DE
Publication Language German (DE)
Filing Language German (DE)
Designated States
Title
(DE) KAPAZITIVER BESCHLEUNIGUNGSSENSOR IN MIKROMECHANISCHER AUSFÜHRUNG
(EN) MICROMECHANICAL EMBODIMENT OF A CAPACITIVE ACCELERATION SENSOR
(FR) DETECTEUR D'ACCELERATION CAPACITIF EN EXECUTION MICROMECANIQUE
Abstract
(DE)
Bei einem kapazitiven Beschleunigungssensor in mikromechanischer Ausführung ist eine rechteckförmige Beschleunigungsplatte an ihren vier Ecken mittels paarweise angeordneter Biegebänder an einem äusseren Rahmen aufgehängt. Jeweils zwei Paare von Biegebändern liegen einander diametral gegenüber. Um Eigenspannungen in den Biegebändern zu kompensieren, erstrecken sich am jeweils einen Ende (12) der Seitenkanten (13) der Beschleunigungsplatte (11) im rechten Winkel zur jeweiligen Seitenkante (13) und in Richtung der jeweils angrenzenden Seitenkante (14) der Beschleunigungsplatte (11) zwei übereinanderliegende Biegebänder (7 bis 10) zum äusseren Rahmen (2) hin. Der Beschleunigungssensor eignet sich zur hochgenauen Bestimmung von Beschleunigungen.
(EN)
In a micromechanical embodiment of a capacitive acceleration sensor, the four corners of a rectangular acceleration plate are attached to an outer frame via strain gauges arranged in pairs. Two pairs of strain gauges are diametrically opposed. In order to compensate natural stresses in the strain gauges, two superimposed strain gauges (7 to 10) extend to the outer frame (2) at one end (12) of the sides (13) of the acceleration plate (11) at right-angles to the side (13) concerned and in the direction of the bordering sides (14) of the acceleration plate (11). The acceleration sensor is suitable for the highly accurate determination of accelerations.
(FR)
Dans le cas d'un détecteur d'accélération capacitif en exécution micromécanique, une plaquette d'accélération rectangulaire est suspendue par ses quatre coins à un cadre extérieur au moyen de bandes de flexion disposées par paires. Deux paires respectives de bandes de flexion sont diamétralement opposées. Afin de compenser les contraintes propres dans les bandes de flexion, deux bandes de flexion superposées (7 à 10) s'étendent jusqu'au cadre extérieur (2) sur l'extrémité respective (12) des bords latéraux (13) de la plaquette d'accélération (11) orthogonalement au bord latéral respectif (13) et en direction du bord latéral adjacent respectif (14) de la plaquette d'accélération (11). Le détecteur d'accélération permet de déterminer les accélérations avec une très haute précision.
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