WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO1990002878) ELECTRONICALLY CONTROLLED CRYOPUMP
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1990/002878    International Application No.:    PCT/US1989/003932
Publication Date: 22.03.1990 International Filing Date: 12.09.1989
Chapter 2 Demand Filed:    06.04.1990    
IPC:
F04B 37/08 (2006.01), F04D 19/04 (2006.01), F04D 27/00 (2006.01)
Applicants: HELIX TECHNOLOGY CORPORATION [US/US]; 266 Second Avenue, Waltham, MA 02254 (US)
Inventors: GAUDET, Peter, W.; (US).
OLSEN, Donald, A.; (US).
EACOBACCI, Michael, J.; (US).
HARVELL, John, T.; (US).
LEPOFSKY, Robert, J.; (US).
ROCHE, David, E.; (US).
BENDER, Steven, A.; (US)
Agent: SMITH, James, M.; Hamilton, Brook, Smith & Reynolds, Two Militia Drive, Lexington, MA 02173 (US)
Priority Data:
243,707 13.09.1988 US
Title (EN) ELECTRONICALLY CONTROLLED CRYOPUMP
(FR) POMPE CRYOGENIQUE A COMMANDE ELECTRONIQUE
Abstract: front page image
(EN)A cryogenic vacuum pump includes, in an integral assembly, temperature sensors (58, 60) and heaters (69) associated with the first and second stages (52, 56) of the cryopumping array, a roughing valve and a purge valve. An electronic module (24) removably coupled in the assembly responds to all sensors and controls all operations of the cryopump including regeneration thereof. System parameters are stored in a nonvolatile memory in the module. Included in regeneration procedures are an auto-zero of the pressure gauge, heating of the array throughout rough pumping, and a change in pressure rate test to determine stall in rough pumping. The electronic module also restarts the system after power failure, limits use of a pressure gauge to safe conditions, provides warnings before allowing opening of the valves while the cryopump is operating and stores sensor calibration information. Control through a control pad on the pump may be limited by a password requirement. Password override is also provided.
(FR)Une pompe à vide cryogénique comprend, dans un ensemble intégré, des capteurs de température (58, 60) et des éléments chauffants (69) associés aux premier et second étages (52, 56) du groupe de cryopompage, une soupape de dégrossissage et une soupape de purge. Un module électronique (24) couplé à distance à l'ensemble répond à tous les capteurs et commande toutes les opérations de la cryopompe y compris sa régénération. Des paramètres du système sont mémorisés dans une mémoire rémanente dans le module. Sont inclus dans les procédés de régénération en zéro-automatique de la jauge de pression, le chauffage du circuit pendant tout le pompage brut, et un changement dans le test du taux de pression pour déterminer un blocage lors du pompage brut. Le module électronique fait redémarrer le système après une alimentation défaillante, limite l'utilisation de la jauge de pression à des conditions sûres, donne des avertissements avant d'ouvrir les vannes pendant que la cryopompe fonctionne et mémorise les informations relatives à l'étalonnage des capteurs. La commande par l'intermédiaire d'un mini clavier de commande de la pompe peut être limitée par un mot de passe. Une annulation de l'effet du mot de passe est également prévue.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)