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1. (WO1989012948) MICROWAVE REACTIVE GAS GENERATOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1989/012948    International Application No.:    PCT/US1989/002714
Publication Date: 28.12.1989 International Filing Date: 21.06.1989
IPC:
H05B 6/78 (2006.01)
Applicants: APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 35 Cabot Road, Woburn, MA 01801 (US)
Inventors: SMITH, Donald, K.; (US)
Agent: IANDIORIO, Joseph, S.; 260 Bear Hill Road, Waltham, MA 02154 (US)
Priority Data:
210,563 23.06.1988 US
Title (EN) MICROWAVE REACTIVE GAS GENERATOR
(FR) GENERATEUR DE GAZ REACTIF A MICRO-ONDES
Abstract: front page image
(EN)A microwave reactive gas generator (10) including a microwave power source (14) with a waveguide (12) coupled to the power source (14) for transmitting microwave radiation. A cavity (22) for establishing a microwave mode is attached to the waveguide (12), and there is a passage tube (24) through the cavity (22) transverse to the direction of propagation of the microwave radiation in the waveguide (12) for passing the gas to be excited through the cavity (22). The generator (10) also includes a device (16, 18, 20) for matching the impedance of the load to the microwave power source. The cavity (22) couples the microwave power from the waveguide (12) to the passage tube (24) to energize the gas into a reactive state.
(FR)On a mis au point un générateur (10) de gaz réactif à micro-ondes avec un guide d'ondes (12) couplé à la source d'énergie (14) pour transmettre le rayonnement des micro-ondes. Une cavité (22) destinée à établir un mode micro-ondes est fixée au guide d'ondes (12), et un tube de passage (24) à travers la cavité (22), transversal au sens de propagation du rayonnement des micro-ondes dans le guide d'ondes (12), fait passer le gaz à exciter à travers ladite cavité (22). Le générateur (10) comprend également un dispositif (16, 18, 20) adaptant l'impédance de la charge à celle de la source d'énergie micro-ondes. La cavité (22) couple l'énergie micro-ondes provenant du guide d'ondes (12) au tube de passage (24) afin d'exciter le gaz pour lui conférer un état réactif.
Designated States: JP, KR.
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)