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1. (WO1989012846) PHOTODEFINABLE INTERLEVEL DIELECTRICS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1989/012846    International Application No.:    PCT/US1989/002780
Publication Date: 28.12.1989 International Filing Date: 23.06.1989
Chapter 2 Demand Filed:    08.12.1989    
IPC:
G03F 7/038 (2006.01)
Applicants: ALLIED-SIGNAL INC. [US/US]; Law Department (C.A. McNally), P.O. Box 2245R, Morristown, NJ 07960 (US)
Inventors: ZUPANCIC, Joseph, J.; (US)
Agent: WINTER, Richard, C.; Allied-Signal Inc., Law Department (C.A. McNally), P.O. Box 2245R, Morristown, NJ 07960 (US).
WELLS, Harold, N.; Allied-Signal Inc., Law Department (C.A.McNally), P.O.Box 2245R, Morristown, NJ 07962 (US)
Priority Data:
211,018 24.06.1988 US
Title (EN) PHOTODEFINABLE INTERLEVEL DIELECTRICS
(FR) DIELECTRIQUES A NIVEAU INTERMEDIAIRE PHOTODEFINISSABLE
Abstract: front page image
(EN)Ethers of oligomeric phenol-dialdehyde condensation products containing vinyl benzyl moieties in at least half of the ether moieties are excellent photosensitive prepolymers. Through simple masking and irradiation with a broad range of radiation types, such a resin as a coating can be selectively patterned by dissolving the non-irradiated and non-photocrosslinked portions of the prepolymer with a large variety of common solvents. The outstanding differential solubility between the photocrosslinked and non-crosslinked regions of the prepolymer allows excellent resolution with good edge sharpness. Susbequent thermal curing affords a void-free infusible glassy solid with minimum shrinkage, excellent planarity characteristics, and high resistance to cracking.
(FR)Des éthers de produits de condensation de phénol-dialdéhyde oligomérique contenant des fractions de benzyle vinylique dans au moins la moitié des fractions d'éther sont d'excellents prépolymères photosensibles. Par un masquage simple et une irradiation avec une large gamme de types d'irradiation, on peut configurer sélectivement une telle résine comme revêtement en dissolvant les parties non irradiées et non photoréticulées du prépolymère à l'aide d'une grande variété de solvants communs. La solubilité différentielle remarquable entre les régions photoréticulées et non réticulées du polymère permet d'obtenir une excellente résolution avec une bonne définition de bordure. Le durcissage thermique ultérieur permet d'obtenir un solide vitreux infusible sans vide avec un rétrécissage minimum, des caractéristiques de planarité excellentes, et une résistance élevée au fissurage.
Designated States: JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)