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1. (WO1988006637) CARRIER GAS CLUSTER SOURCE FOR THERMALLY CONDITIONED CLUSTERS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1988/006637    International Application No.:    PCT/US1988/000118
Publication Date: 07.09.1988 International Filing Date: 19.01.1988
IPC:
C23C 14/22 (2006.01)
Applicants: HUGHES AIRCRAFT COMPANY [US/US]; 7200 Hughes Terrace, Los Angeles, CA 90045-0066 (US)
Inventors: KNAUER, Wolfgang; (US)
Agent: DENSON-LOW, Wanda, K. @; Hughes Aircraft Company, Post Office Box 45066, Bldg. C1, M.S. A126, Los Angeles, CA 90045-0066 (US)
Priority Data:
019,911 27.02.1987 US
Title (EN) CARRIER GAS CLUSTER SOURCE FOR THERMALLY CONDITIONED CLUSTERS
(FR) SOURCE D'AGGLOMERATS A GAZ PORTEUR POUR AGGLOMERATS CONDITIONNES THERMIQUEMENT
Abstract: front page image
(EN)A source (30) of clusters of atoms is provided, wherein the clusters are thermally conditioned after their formation so that the clusters are in the liquid state. A beam (14) of clusters is first formed during the mixing of a stream of atoms and a carrier gas. The beam of clusters mixed with carrier gas (48) is passed through a conditioner, preferably including a heated drift tube (50), to bring the clusters to a temperature whereat the clusters are in a condensed state without crystalline order, comparable to the liquid state. The conditioned cluster beam passes to vacuum (24), with separation and removal of a large portion of the carrier gas mixed therewith, so that cooling of the clusters in the cluster beam is minimized during their flight to the cluster target.
(FR)Source (30) d'agglomérats d'atomes dans laquelle les agglomérats sont conditionnés thermiquement après leur formation, de sorte que les agglomérats sont à l'état liquide. Un faisceau (14) d'agglomérats est d'abord formé pendant le mélange d'un courant d'atomes et d'un gaz porteur. Le faisceau d'agglomérats mélangés au gaz porteur (48) est passé à travers un conditionneur, de préférence incluant un tube (50) à transit chauffé, pour amener les agglomérats à une température à laquelle ils sont dans un état condensé sans ordre cristallin, comparable à l'état liquide. Le faisceau d'agglomérats conditionné passe par une chambre de vide (24), avec séparation et retrait d'une grande partie du gaz porteur mélangé, de sorte que le refroidissement des agglomérats dans le faisceau d'agglomérats est réduit au minimum pendant leur trajet vers la cible.
Designated States: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)