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1. (WO1987003739) LIQUID METAL ION SOURCE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1987/003739 International Application No.: PCT/JP1986/000618
Publication Date: 18.06.1987 International Filing Date: 05.12.1986
IPC:
H01J 27/26 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
27
Ion beam tubes
02
Ion sources; Ion guns
26
using surface ionisation, e.g. field effect ion sources, thermionic ion sources
Applicants:
HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku Tokyo 101, JP (AllExceptUS)
UMEMURA, Kaoru [JP/JP]; JP (UsOnly)
ISHITANI, Tohru [JP/JP]; JP (UsOnly)
AIDA, Toshiyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
TAMURA, Hifumi [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventors:
UMEMURA, Kaoru; JP
ISHITANI, Tohru; JP
AIDA, Toshiyuki; JP
TAMURA, Hifumi; JP
Agent:
OGAWA, Katuo; Patent Department of Hitachi, Ltd 5-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100, JP
Priority Data:
60/27892513.12.1985JP
Title (EN) LIQUID METAL ION SOURCE
(FR) SOURCE D'IONS EN METAL LIQUIDE
Abstract:
(EN) A liquid metal ion source which is prepared by melting a material to be ionized. The material to be ionized is an alloy represented by the compositional formula of LXRYMA wherein X, Y, and A each represents an atomic %, L represents at least one element of Pt, Pd, and Ag, R represents at least one element of As, P and B, M represents at least one element of Ge, Si, and Sb, wherein 5 < A < 50, 40 < X < 70, and X + Y + A = 100. This material enables at least one element of As, P, and B to be drawn out stably for a long time.
(FR) Une source d'ions en métal liquide est préparée en faisant fondre un matériau à ioniser. Le matériau à ioniser est un alliage dont la composition est représentée par la formule LXRYMA, dans laquelle X, Y et A représentent chacun un % atomique, L représente au moins un des éléments suivants: Pt, Pd et Ag, R représente au moins un des éléments suivants: As, P et B, et M représente au moins un des éléments suivants: Ge, Si et Sb, alors que 5 < A < 50, 40 < X < 70 et X + Y + A = 100. Ce matériau permet d'extraire de manière stable pendant longtemps au moins un élément parmi As, P et B.
Designated States: US
European Patent Office (DE, GB)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
EP0248914US4774414