Search International and National Patent Collections
Some content of this application is unavailable at the moment.
If this situation persists, please contact us atFeedback&Contact
1. (WO1985004757) SECONDARY ELECTRON DETECTOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau

Pub. No.: WO/1985/004757 International Application No.: PCT/JP1985/000170
Publication Date: 24.10.1985 International Filing Date: 05.04.1985
IPC:
H01J 37/244 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
Applicants:
HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku Tokyo 101, JP (AllExceptUS)
OTAKA, Tadasi [JP/JP]; JP (UsOnly)
NAKAIZUMI, Yasushi [JP/JP]; JP (UsOnly)
KURODA, Katuhiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
Inventors:
OTAKA, Tadasi; JP
NAKAIZUMI, Yasushi; JP
KURODA, Katuhiro; JP
Agent:
OGAWA, Katuo; Patent Department of Hitachi, Ltd. 5-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100, JP
Priority Data:
59/6774306.04.1984JP
Title (EN) SECONDARY ELECTRON DETECTOR
(FR) DETECTEUR D'ELECTRONS SECONDAIRES
Abstract:
(EN) A device for detecting secondary electrons emitted from a sample (4) when it is irradiated with an electron beam (2). When the electron beam (2) is under low acceleration, it is desired to efficiently detect the secondary electrons without imparting deflection interference to the electron beam (2). To solve this problem, use is made of means (7) that generates an electric field and a magnetic field at right angles to each other, so that no deflecting force is imparted to the electron beam (2) as a whole, but a deflecting force is imparted to the secondary electrons in the same direction.
(FR) Dispositif permettant de détecter les électrons secondaires émis par un échantillon (4) lorsqu'il est irradié avec un faisceau d'électrons (2). Lorsque le faisceau d'électrons (2) se trouve sous une faible accélération, il est souhaitable de détecter d'une manière efficiente les électrons secondaires sans provoquer d'interférences de déviation sur le faisceau d'électrons (2). Pour résoudre ce problème on utilise un organe (7) produisant un champ électrique et un champ magnétique à angle droit l'un par rapport à l'autre, de sorte qu'aucune force de déviation n'est appliquée à la totalité du faisceau d'électrons (2), mais une force de déviation est appliquée aux électrons secondaires dans la même direction.
Designated States: DE, GB, US
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)
Also published as:
US4658136