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1. (WO1985002867) WAFER PROCESSING MACHINE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1985/002867    International Application No.:    PCT/US1984/002104
Publication Date: 04.07.1985 International Filing Date: 20.12.1984
IPC:
C23C 14/56 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: DIMOCK, Jack, A. [US/US]; (US)
Inventors: DIMOCK, Jack, A.; (US)
Agent: AINE, Harry, E.; 30600 Page Mill Road, Los Altos, CA 94022 (US)
Priority Data:
564,748 22.12.1983 US
Title (EN) WAFER PROCESSING MACHINE
(FR) MACHINE DE TRAITEMENT DE TRANCHES
Abstract: front page image
(EN)A sputter coating machine (11) includes a rectilineary translatable load-lock (16) closing off one end of an evacuable chamber (12). Wafers (21) to be coated are loaded and unloaded by an elevator blade (24) onto a chuck (57) carried from the inside surface of the door (16). A clamping ring (85) clamps the wafer (21) to the chuck (57) and advances the wafer (21) through the open throat of a gate-valve portion (15) of the chamber (12) into position opposite a magnetron sputter gun (105) carried from a second door (13) closing off the other end of the chamber (12). The second door (13) is movable away from the chamber (12) on guide rails (141) and pivotable about an axis (138) for ease of maintenance.
(FR)Une machine d'enduction par pulvérisation (11) comporte un verrou de charge (16) déplaçable de manière rectiligne et fermant une extrémité d'une chambre évacuable (12). Des tranches (21) à enduire sont chargées et déchargées par une lame d'élévation (24) sur un mandrin (57) porté par la surface intérieure de la porte (16). Un anneau de serrage (85) serre la tranche (21) sur le mandrin (51) et avance la tranche (21) en lui faisant traverser la gorge ouverte d'une partie de robinet-vanne (15) de la chambre (12) pour l'amener en position en face d'un pistolet pulvérisateur à magnétron (105) porté par une seconde porte (13) fermant l'autre extrémité de la chambre (12). La seconde porte (13) peut s'éloigner de la chambre (12) sur des rails de guidage (141) et peut pivoter autour d'un axe (138) pour faciliter l'entretien.
Designated States: JP.
European Patent Office (DE, GB).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)