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1. (WO1985001834) OPTICAL EXPOSURE APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1985/001834    International Application No.:    PCT/JP1984/000467
Publication Date: 25.04.1985 International Filing Date: 03.10.1984
IPC:
G03F 9/00 (2006.01), H01L 21/30 (2006.01)
Applicants: HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6, Kanda Surugadai 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101 (JP) (KR only).
SUGIYAMA, Shuji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
SHODA, Shuji [JP/JP]; (JP) (For US Only).
KUNIYOSHI, Shinji [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Inventors: SUGIYAMA, Shuji; (JP).
SHODA, Shuji; (JP).
KUNIYOSHI, Shinji; (JP)
Agent: TAKAHASHI, Akio; Patent Department of Hitachi, Ltd., 5-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100 (JP)
Priority Data:
58/187025 07.10.1983 JP
Title (EN) OPTICAL EXPOSURE APPARATUS
(FR) APPAREIL OPTIQUE D'EXPOSITION
Abstract: front page image
(EN)An optical exposure apparatus in which a predetermined pattern is projected on a workpiece through an exposure lens and an alignement mark formed on the workpiece is detected through a projecting lens. It is desirable that the detected waveform of the alignement mark should not be deformed. Deformation of the waveform is caused by the interference of alignement light; therefore, to reduce the interference, light of a first wavelength and light of a second wavelength are employed as alignement light.
(FR)Appareil optique d'exposition dans lequel un motif prédéterminé est projeté sur une pièce à usiner au travers d'une lentille d'exposition et une marque d'alignement formée sur la pièce à usiner est détectée au travers d'une lentille de projection. Il est souhaitable que l'onde détectée de la marque d'alignement ne soit pas déformée. La déformation de l'onde est provoquée par l'interférence de la lumière d'alignement; par conséquent, afin de réduire l'interférence, une lumière d'une première longueur d'onde et une lumière d'une deuxième longueur d'onde sont utilisées comme lumières d'alignement.
Designated States: KR, US.
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)