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1. (WO1984004810) METHOD AND DEVICE FOR THE CONTACT-FREE MEASUREMENT OF THE ACTUAL POSITION AND/OR THE PROFILE OF ROUGH SURFACES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1984/004810    International Application No.:    PCT/EP1984/000152
Publication Date: 06.12.1984 International Filing Date: 19.05.1984
IPC:
G01B 11/30 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01)
Applicants:
Inventors:
Priority Data:
  30.12.1899 null
Title (EN) METHOD AND DEVICE FOR THE CONTACT-FREE MEASUREMENT OF THE ACTUAL POSITION AND/OR THE PROFILE OF ROUGH SURFACES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA MESURE SANS CONTACT DE LA POSITION REELLE ET/OU DU PROFIL DE SURFACES RUGUEUSES
Abstract: front page image
(EN)Laser light having at least two different wavelengths is directed to the surface (8) to be measured. On the path of the light beams there is arranged a ray divider (4) generating a reference light beam which is reflected on a reference plane surface (5). In the interference plane of the reflected light a frange pattern is formed amongst which a bright laser frange is selected for all wavelengths by means of a measuring diaphragm (31) of which the diameter is smaller than that of a laser frange. Behind the measuring diaphragm (21), the two wavelengths are separated from each other and the phase difference between the signals of the different wavelengths is measured. Said phase difference is transformed into a signal proportional to the distance between the measuring point and the reference surface and is displayed. It is advisable to frequency-shift the reference light beam with respect to the object light by means of a heterodyne device (7).
(FR)De la lumière laser qui contient au moins deux longueurs d"onde différentes est dirigée sur la surface (8) à mesurer. Sur le parcours des rayons lumineux est disposé un système de dédoublement (4) des rayons engendrant un faisceau de lumière de référence qui est réfléchi sur une surface plane (5) de référence. Dans le plan des interférences de la lumière réfléchie se produit un réseau de franges parmi lesquelles on choisi une frange de laser brillante pour toutes les longueurs d"onde à l"aide d"un diaphragme de mesure (21) dont le diamètre est plus petit que celui d"une frange de laser. Derrière le diaphragme de mesure (21) les deux longueurs d"onde sont séparées l"une de l"autre et al différence de phase entre les signaux des différentes longueurs d"onde est mesurée. Cette différence de phase est transformée en un signal proportionnel à la distance entre le point de mesure et la surface de référence et est affiché. Il est indiqué de décaler en fréquence le faisceau de lumière de référence par rapport à la lumière de l"objet à l"aide d"un dispositif hétérodyne (7).
Designated States:
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)