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1. (WO1984001660) PLANAR BIAXIAL MICROPOSITIONING STAGE
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1984/001660    International Application No.:    PCT/US1983/001639
Publication Date: 26.04.1984 International Filing Date: 21.10.1983
IPC:
B23Q 1/36 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01), G02B 6/38 (2006.01)
Applicants:
Inventors:
Priority Data:
  30.12.1899 null
Title (EN) PLANAR BIAXIAL MICROPOSITIONING STAGE
(FR) PLATEAU DE MICROPOSITIONNEMENT BIOAXIAL PLANAIRE
Abstract: front page image
(EN)A micropositioning stage which may be monolithic and which comprises a first structure (2) which is mounted coplanar with and concentrically within a second structure (1). Both structures consist essentially of frames and pivoting lever arms (6, 7, 8, 25, 26, 35) which respond to linear force from piezoelectric transducers (3, 4) to move an object (36) mounted on a platform (37) in two different directions one of which may be at right angles to the other. The invention is particularly characterized by permitting biaxial movement of an object in a planar, essentially flat unit. In one embodiment, the present invention is monolithic in the sense that it is a single unitary structure except for the piezoelectric transducer elements.
(FR)Plateau de micropositionnement pouvant être monolithique et comprenant une première structure (2) montée de manière concentrique à l'intérieur d'une seconde structure (1) et coplanaire avec celle-ci. Ces deux structures sont faites essentiellement de châssis et de bras de levier pivotants (6, 7, 8, 25, 26, 35) qui répondent à une force linéaire provenant des transducteurs piézoélectriques (3, 4) pour déplacer un objet (36) placé sur une plate-forme (37) dans deux directions différentes dont l'une peut être perpendiculaire à l'autre. La présente invention se caractérise particulièrement par le fait qu'elle permet un mouvement biaxial d'un objet dans une unité pratiquement plate et planaire. Dans un mode de réalisation, la présente invention est monolithique dans le sens que c'est une structure unitaire simple, exception faite des éléments transducteurs piézoélectriques.
Designated States:
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)