WIPO logo
Mobile | Deutsch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Search International and National Patent Collections
World Intellectual Property Organization
Search
 
Browse
 
Translate
 
Options
 
News
 
Login
 
Help
 
Machine translation
1. (WO1983004240) WAFER TRANSFER APPARATUS
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1983/004240    International Application No.:    PCT/US1983/000783
Publication Date: 08.12.1983 International Filing Date: 18.05.1983
IPC:
B65G 47/91 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Applicants: PROCONICS INTERNATIONAL INC. [US/US]; 165 F New Boston Street, Woburn, MA 01801 (US)
Inventors: FOULKE, Richard, F.; (US).
LORD, Steven, M.; (US)
Agent: HILLMAN, Robert, E.; Fish & Richardson, 28 State Street, Boston, MA 02109 (US)
Priority Data:
381,292 24.05.1982 US
Title (EN) WAFER TRANSFER APPARATUS
(FR) DISPOSITIF DE TRANSFERT DE TRANCHES A SEMICONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN)In the transfer of semiconductor wafers from storage boats to quartz boats it has been a problem to align the wafers with slots in the receiving quartz boats. To overcome this problem there is provided a wafer support number (42) having vacuum opening (154) which is shiftable between storage boats (12) and quartz boats (14) by transfer arm (32). The relationship between member (42) and arm (32) is such that the wafer can be aligned with slots (132) in quartz boat (14). Sensors including a light source (405) determine alignment between member (42) and slots (132) and then initiate correct alignment of the member (42) to facilitate unimpeded transfer of the wafers.
(FR)Lors du transfert de tranches à semiconducteurs depuis des nacelles de stockage aux nacelles en quartz on a rencontré des problèmes dans l'alignement des tranches avec les fentes des nacelles en quartz réceptrices. Afin d'éliminer ce problème, on décrit un organe de support de tranche (42) ayant une ouverture à dépression (154) pouvant se déplacer entre des nacelles de stockage (12) et des nacelles en quartz (14) au moyen d'un bras de transfert (32). La relation entre l'organe (42) et le bras (32) est telle que la tranche peut être alignée à l'intérieur des fentes (132) dans la nacelle en quartz (14). Des détecteurs comprenant une source lumineuse (405) déterminent l'alignement entre l'organe (42) et les fentes (132) et provoquent l'alignement correct de l'organe (42) pour faciliter le transfert sans entrave des tranches.
Designated States: DE, GB, JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, FR, GB, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)