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1. (WO1983002572) SPUTTER INITIATED RESONANCE IONIZATION SPECTROMETRY
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1983/002572    International Application No.:    PCT/US1983/000084
Publication Date: 04.08.1983 International Filing Date: 17.01.1983
IPC:
G01N 21/63 (2006.01), G01N 23/225 (2006.01), H01J 49/14 (2006.01), H01J 49/16 (2006.01)
Applicants: HURST, G., Samuel [US/US]; (US).
PARKS, James, R. [US/US]; (US).
SCHMITT, Harold, W. [US/US]; (US)
Inventors: HURST, G., Samuel; (US).
PARKS, James, R.; (US).
SCHMITT, Harold, W.; (US)
Agent: SKINNER, Martin, J. @; Pitts, Ruderman & Kesterson, 1116 Weisgarber Building, Knoxville, TN 37919 (US)
Priority Data:
341,895 22.01.1982 US
Title (EN) SPUTTER INITIATED RESONANCE IONIZATION SPECTROMETRY
(FR) SPECTROMETRIE A IONISATION PAR RESONNANCE INITIALISEE PAR PULVERISATION
Abstract: front page image
(EN)Apparatus and method for the quantitative analysis of a specific specie within a sample. The analysis has sufficient sensitivity for the detection of as little as one atom of the desired species. The method is accomplished by bombarding a sample with a highly focused charged particle beam; for example, a beam of positive argon ions having an energy from five to thirty kilovolts and a current of one milliampere or greater. This beam impinging upon the sample creates a cloud including secondary ions and neutral particles of the constituents of the sample. The cloud is irradiated with a laser beam having selected wavelengths therein for the unique ionization of the desired specie by means of resonance ionization spectroscopy (RIS). Energy discrimination can be accomplished by passing the RIS ions through an energy filter (32) with the ions emanating therefrom having a narrow range of energy; and a mass discrimination may be accomplished in an appropriate mass analyzer such as a time of flight spectrometer (34).
(FR)Procédé et dispositif d'analyse quantitative d'espèces spécifiques contenues dans un échantillon. L'analyse possède une sensibilité suffisante pour la détection de quantité aussi faible qu'un atome de l'espèce désirée. Le procédé consiste à bombarder un échantillon avec un rayon de particules chargées hautement focalisé; par exemple, un rayon d'ions d'argon positifs possédant une énergie comprise entre 5 et 30 kilovolts et un courant égal ou supérieur à un milliampère. Ce rayon incident sur l'échantillon crée un nuage comprenant des ions secondaires et des particules neutres des constituants de l'échantillon. Le nuage est irradié avec un rayon laser possédant des longueurs d'ondes sélectionnées de manière à obtenir une ionisation unique de l'espèce désirée au moyen d'une spectroscopie à ionisation par résonnance (RIS). Une discrimination d'énergie peut être obtenue en faisant passer les ions RIS au travers d'un filtre d'énergie (32), les ions émanant de celui-ci possédant une gamme plus étroite d'énergie; une discrimination de masse peut être obtenue dans un analyseur de masse approprié tel qu'un spectromètre à temps de vol (34).
Designated States: DK, JP.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, FR, GB, LU, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)