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1. (WO1983002464) DIAMETER CONTROL IN CZOCHRALSKI CRYSTAL GROWTH
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1983/002464    International Application No.:    PCT/AU1982/000216
Publication Date: 21.07.1983 International Filing Date: 22.12.1982
IPC:
C30B 15/28 (2006.01)
Applicants: THE COMMONWEALTH OF AUSTRALIA care of THE SECRETAR [AU/AU]; Y, DEPARTMENT OF DEFENCE SUPPORT;, Anzac Park West Building;, Canberra, ACT 2600; (AU) (For All Designated States Except US).
SEYMOUR, Robert, Stephen [AU/AU]; (AU) (For US Only)
Inventors: SEYMOUR, Robert, Stephen; (AU)
Agent: COLLISON & CO.; Savings Bank Building, 97 King William Street, Adelaide, S.A. 5000 (AU)
Priority Data:
PF 2151 04.01.1982 AU
Title (EN) DIAMETER CONTROL IN CZOCHRALSKI CRYSTAL GROWTH
(FR) CONTROLE DES DIAMETRES DANS LA CROISSANCE DES CRISTAUX SELON LE PROCEDE DE CZOCHRALFKI
Abstract: front page image
(EN)Diameter control in Czochralski crystal growth is accomplished by progressively measuring both the temperature of the melt by heat sensor (11) and the weight of the residue of the melt in the crucible (2) by weighing means (9). The weight measurement data is fed to microprocessor (11) having a control algorithm. The microprocessor output and temperature measurement output are fed to a three-term temperature controller (13) which regulates the temperature of the melt to thereby control automatically the diameter of the crystal.
(FR)Le contrôle du diamètre dans les cristaux cultivés selon le procédé de Czolchraski est obtenu en mesurant progressivement la température de la masse en fusion au moyen d'un détecteur de température (11) et le poids du résidu de masse en fusion dans le creuset (2) au moyen d'un organe de pesage (9). Les données relatives aux mesures de poids sont envoyées à un microprocesseur (11) possédant un algorithme de commande. Le signal de sortie du microprocesseur et le signal de sortie du dispositif de mesure de la température sont envoyés à un contrôleur de température à trois bornes (13) qui régule la température de la masse en fusion pour contrôler automatiquement le diamètre du cristal.
Designated States: AU, JP, US.
European Patent Office (BE, DE, FR, GB, NL, SE).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)