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1. (WO1981002533) CENTRIFUGAL WAFER PROCESSOR
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1981/002533    International Application No.:    PCT/US1981/000257
Publication Date: 17.09.1981 International Filing Date: 27.02.1981
IPC:
B08B 3/02 (2006.01)
Applicants:
Inventors:
Priority Data:
127660 06.03.1980 US
Title (EN) CENTRIFUGAL WAFER PROCESSOR
(FR) PROCESSEUR DE MICRO PLAQUETTE CENTRIFUGE
Abstract: front page image
(EN)An automatic production apparatus (10) for processing a plurality of semiconductor wafers, which includes a rotor (15) rotatable about a substantially, but not true, horizontal axis, wherein the rotor includes a removable carrier (38) capable of holding a plurality of closely loaded semi-conductor wafers and a support for retaining semiconductor wafers in the carrier when the carrier is inverted. It also includes a plurality of spray nozzles (33, 35) for providing processing fluids and drying gases, and a recessed drain (23) for removing the expended fluids.
(FR)Dispositif (10) de production automatique pour le traitement d'une pluralite de micro-plaquettes a semi-conducteurs, comprenant un rotor (15) pouvant tourner autour d'un axe sensiblement mais pas exactement horizontal, le rotor comprenant un support demontable (38) pouvant retenir une pluralite de micro-plaquettes de semi-conducteurs charge a proximite des uns des autres et une piece supplementaire servant a retenir les micro-plaquettes de semi-conducteurs dans le support lorsque celui-ci est retourne. Le dispositif comprend aussi une pluralite de buses de pulverisation (33, 35) fournissant les fluides de traitement et les gaz de sechage, et un drainage (23) en retrait pour l'extraction des fluides usages.
Designated States:
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)