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1. (WO1980000346) APPARATUS FOR FORMING ORGANIC POLYMER THIN FILM UTILIZING PLASMA
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/1980/000346    International Application No.:    PCT/JP1979/000193
Publication Date: 06.03.1980 International Filing Date: 25.07.1979
IPC:
B01J 19/12 (2006.01), C08F 2/52 (2006.01)
Applicants:
Inventors:
Priority Data:
78/89972 25.07.1978 JP
Title (EN) APPARATUS FOR FORMING ORGANIC POLYMER THIN FILM UTILIZING PLASMA
(FR) APPAREIL DE FORMATION D"UNE PELLICULE FINE DE POLYMERE ORGANIQUE UTILISANT DU PLASMA
Abstract: front page image
(EN)An apparatus for forming an organic polymer thin film not to be decomposed or deteriorated, by effectively polymerizing a polymerizable organic compound monomer onto a base plate under the use of plasma. This apparatus comprises a reactor (10) retaining a base plate (12), a microwave discharge tube (20) for feeding into the reactor (10) a carrier gas activated by microwave discharge, activating microwave-generating means (30) equipped with cavity resonator (31) for microwave discharge, means for feeding said carrier gas into microwave discharge tube (20), and means for feeding said polymerizable organic compound monomer into reactor (10). A plasma-forming zone (24) does not reach and is completely separated from reactor (10). The base plate having formed thereon the organic polymer thin film obtained by means of this apparatus is utilized as photo sensors, temperature sensors, optical filters, etc.
(FR)Appareil de formation d"une pellicule mince de polymere organique resistant a la decomposition ou a la deterioration en polymerisant un monomere organique polymerisable sur une plaque avec l"utilisation de plasma. Cet appareil comprend un reacteur (10) retenant une embase (12), un tube de decharge de micro-ondes (20) pour alimenter dans le reacteur (10) un gaz porteur active par la decharge de micro-ondes, de moyens d"activation de production de micro-ondes (30) equipes avec un resonateur a cavite (31) pour la decharge de micro-ondes, des moyens d"alimentation de ces gaz porteurs dans le tube de decharge de micro-ondes (20), et des moyens pour alimenter ledit monomere organique polymerisable dans le reacteur (10), Une zone de formation de plasma (24) n"atteint pas le reacteur (10) et en est completement separee. La plaque sur laquelle est formee la pellicule fine de polymere organique obtenue au moyen de cet appareil est utilisee comme photodetecteur thermometre filtre optique, etc.
Designated States:
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)