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1. (WO2017014626) METHOD FOR POSITIONING AN OPTICAL COMPONENT IN A LIGHT IMAGING DEVICE FOR CATHODOLUMINESCENCE INSPECTION AND APPARATUS ARRANGED FOR APPLYING SAID METHOD
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Pub. No.:    WO/2017/014626    International Application No.:    PCT/NL2016/050516
Publication Date: 26.01.2017 International Filing Date: 13.07.2016
IPC:
H01J 37/22 (2006.01)
Applicants: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Stevinweg 1 2628 CN Delft (NL)
Inventors: HOOGENBOOM, Jacob Pieter; (NL).
NARVAEZ, Angela Carolina; (NL).
WEPPELMAN, Izaak Gerrit Cornelis; (NL)
Agent: PETERS, Sebastian Martinus; (NL)
Priority Data:
2015192 20.07.2015 NL
Title (EN) METHOD FOR POSITIONING AN OPTICAL COMPONENT IN A LIGHT IMAGING DEVICE FOR CATHODOLUMINESCENCE INSPECTION AND APPARATUS ARRANGED FOR APPLYING SAID METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE POSITIONNEMENT D'UN COMPOSANT OPTIQUE DANS UN DISPOSITIF D'IMAGERIE OPTIQUE POUR INSPECTION DE CATHODOLUMINESCENCE ET APPAREIL AGENCÉ POUR APPLIQUER LEDIT PROCÉDÉ
Abstract: front page image
(EN)The invention provides a method for positioning an optical component in a conjugate plane of a focal plane of a light imaging device,comprising the steps of: a. irradiate a substrate arranged at the focal plane by a charged particle beam having a selected energy to create light detectable by a light detector of the light imaging device; b. arranging the optical component at various positions in or around said conjugate plane and measuring an intensity of the light as a function of the position of said optical component; c. setting the optical component at a fixed position in or near the conjugate plane, said fixed position being determined using the measured dependence of the intensity of the light as a function of the position of said optical component. According to the invention, the steps are repeated using a charged particle beam with an energy lower than the selected energy.
(FR)L'invention concerne un procédé de positionnement d'un composant optique dans un plan conjugué d'un plan focal d'un dispositif d'imagerie optique, comprenant les étapes consistant à : a. exposer un substrat disposé au niveau du plan focal à un faisceau de particules chargées ayant une énergie sélectionnée afin de créer une lumière détectable par un détecteur de lumière du dispositif d'imagerie optique ; b. agencer le composant optique au niveau de diverses positions dans ledit plan conjugué ou autour de celui-ci et mesurer l'intensité de la lumière en fonction de la position dudit composant optique ; c. régler le composant optique au niveau d'une position fixe dans le plan conjugué ou à proximité de celui-ci, ladite position fixe étant déterminée à l'aide de la dépendance mesurée de l'intensité de la lumière en fonction de la position dudit composant optique. Selon l'invention, les étapes sont répétées à l'aide d'un faisceau de particules chargées avec une énergie inférieure à l'énergie sélectionnée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)