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1. (WO2016076718) DEVICE AND METHOD FOR GENERATING CHARGED PARTICLE BEAM PULSES
Latest bibliographic data on file with the International Bureau   

Pub. No.:    WO/2016/076718    International Application No.:    PCT/NL2015/050789
Publication Date: 19.05.2016 International Filing Date: 11.11.2015
IPC:
H01J 37/04 (2006.01)
Applicants: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT [NL/NL]; Stevinweg 1 NL-2628 CN Delft (NL)
Inventors: KRUIT, Pieter; (NL).
WEPPELMAN, Izaak Gerrit Cornelis; (NL)
Agent: PETERS, Sebastian Martinus; (NL)
Priority Data:
2013801 14.11.2014 NL
Title (EN) DEVICE AND METHOD FOR GENERATING CHARGED PARTICLE BEAM PULSES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE PRODUIRE DES IMPULSIONS DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a device for, in combination with a stop comprising an aperture, generating charged particle beam pulses, an apparatus for inspecting a surface of a sample, and a method for inspecting a surface of a sample. The device comprises a deflection unit which is arranged for positioning in or along a trajectory of a charged particle beam. The deflection unit is arranged for generating an electric field for deflecting said charged particle beam over said stop and across the aperture. The device comprises an electrical driving circuit for providing a periodic signal. The electrical driving circuit is connected to the manipulation unit via a photoconductive switch, wherein the photoconductive switch is arranged for: substantially insulating the deflection unit from the electrical driving circuit, and for conductively connecting the deflection unit to the electrical driving circuit only when said photoconductive switch is illuminated by a light beam.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant, en combinaison avec une butée comprenant une ouverture, de générer des impulsions de faisceau de particules chargées, un appareil permettant d'inspecter une surface d'un échantillon, et un procédé permettant d'inspecter une surface d'un échantillon. Le dispositif comprend une unité de déviation qui est conçue pour un positionnement dans ou le long d'une trajectoire d'un faisceau de particules chargées. L'unité de déviation est conçue pour générer un champ électrique permettant de dévier ledit faisceau de particules chargées sur ladite butée et à travers l'ouverture. Le dispositif comprend un circuit d'entraînement électrique permettant de fournir un signal périodique. Le circuit d'entraînement électrique est connecté à l'unité de manipulation par l'intermédiaire d'un commutateur photoconducteur, le commutateur photoconducteur étant conçu : pour isoler pratiquement l'unité de déviation du circuit d'entraînement électrique, et pour connecter de manière conductrice l'unité de déviation au circuit d'entraînement électrique, uniquement lorsque ledit commutateur photoconducteur est éclairé par un faisceau de lumière.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)